第一百七十六章 试刻蚀
    2020年12月2日。

    下午三点十七分,顺丰的快递车停在了鸿远飞鸟总部楼下。

    苏辰亲自下楼签收。

    一个不大的恆温包装箱。。发货方是上海硅產业集团的子公司——新昇半导体。

    苏辰把包装箱拿回三楼的drie实验室,戴上无尘手套,小心翼翼地打开。

    三片硅片。

    。表面呈镜面般的银灰色光泽,在实验室的白炽灯下微微反光。

    苏辰拿起第一片,举到灯下检查。

    没有肉眼可见的缺陷。表面平整度达標。

    他把三片硅片依次放入无尘储存盒,然后在方案纸上写下:

    硅片到货。格。试刻蚀时间確认:12月3日。

    然后他拿起手机,给周志远发了一条消息:

    “硅片到了。明天早上六点开始参数计算。“

    周志远秒回:“我五点五十上线。“

    苏辰看了一眼这条消息,没有回覆。他把手机放在桌上,转身走向drie设备。

    他需要做最后一次设备检查。

    刻蚀腔体、气体管路、温控系统、真空泵——每一个部件他都亲手检查了一遍。这台drie设备是鸿远飞鸟去年花了八百万从德国採购的,是目前实验室里最贵的一台设备。

    但明天它要做的事情,是这台设备的设计者从未想过的——在300尺度上进行高精度s刻蚀。

    因为按照博世自己的技术路线,300的s刻蚀至少还需要两到三年的预研时间。

    而苏辰准备用一次试刻蚀完成它。

    检查完设备后,苏辰坐回实验台前。

    桌上摊著二十四张草稿纸——十三张是他自己的,七张是和周志远一起推导的,四张是周志远独立完成的角向对称性降维方法。

    从250到300。从一个人到两个人。从等效热弹性近似法到三阶修正模型。

    所有的理论准备都已经完成。

    剩下的,就是明天的六个小时计算——和那一次试刻蚀。

    苏辰看了一眼窗外。深圳的12月初,天色暗得很快。路灯已经亮了。

    他站起来,关了实验室的灯,锁了门。

    回到宿舍,他吃了一碗泡麵,洗了个澡,定了明天五点半的闹钟。

    然后上床睡觉。

    他睡得很沉。没有做梦。

    2020年12月3日。凌晨五点半。

    闹钟响了。

    苏辰睁开眼睛,起床,刷牙,洗脸,换上实验服。

    五点四十五分,他走进了drie实验室。

    打开所有设备的预热程序。drie设备的刻蚀腔体需要十五分钟达到工作温度。真空泵需要十分钟抽到工作真空度。

    五点五十分,他打开电脑上的计算程序。

    周志远的视频通话准时接入。

    “早。“屏幕那头,周志远已经坐在了中科院力学所的办公室里。他的桌上摆著一杯咖啡和两个麵包,显然打算在这里坐一天。

    “早。“苏辰说。

    “参数都输好了“

    “输好了。三组温度梯度、刻蚀气体配比、功率曲线。全部按照我们最终確定的方案。“

    “好。“周志远深吸一口气,“那就开始吧。“

    苏辰按下了回车键。

    屏幕上,计算程序开始运行。。

    正则化格林函数修正——角向对称性降维版本——开始计算300硅片在drie刻蚀条件下的三阶非线性热力学响应。

    预计完成时间:5小时47分钟。

    苏辰靠在椅背上,看著屏幕上缓慢移动的进度条。

    “去吃个早饭吧。“周志远说,“五个多小时呢。“

    “不饿。“

    “那我吃了。“周志远拿起麵包开始啃。

    苏辰没有回应。他的眼睛盯著屏幕,但视线似乎穿过了屏幕,看著更远的地方。

    时间一分一秒地过去。。。。。一切正常。所有中间结果都在收敛。

    苏辰终於起身去倒了一杯水。。周志远在北京那头已经喝完了第二杯咖啡。。

    十一点十七分,计算程序弹出了一个警告框。

    苏辰的身体瞬间绷紧。

    他凑近屏幕——

    “第七区域三阶耦合项叠代次数超出预设閾值。当前叠代:847次。预设上限:800次。“

    “怎么回事“周志远的声音从屏幕另一端传来,带著紧张。

    苏辰没有说话。他飞快地打开了计算日誌,查看第七区域的数据。

    300硅片在计算时被划分为十二个区域。第七区域位於硅片边缘偏內侧——正好是三阶非线性效应最强的过渡区域。

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