下午三点十七分,顺丰的快递车停在了鸿远飞鸟总部楼下。
苏辰亲自下楼签收。
一个不大的恆温包装箱。。发货方是上海硅產业集团的子公司——新昇半导体。
苏辰把包装箱拿回三楼的drie实验室,戴上无尘手套,小心翼翼地打开。
三片硅片。
。表面呈镜面般的银灰色光泽,在实验室的白炽灯下微微反光。
苏辰拿起第一片,举到灯下检查。
没有肉眼可见的缺陷。表面平整度达標。
他把三片硅片依次放入无尘储存盒,然后在方案纸上写下:
硅片到货。格。试刻蚀时间確认:12月3日。
然后他拿起手机,给周志远发了一条消息:
“硅片到了。明天早上六点开始参数计算。“
周志远秒回:“我五点五十上线。“
苏辰看了一眼这条消息,没有回覆。他把手机放在桌上,转身走向drie设备。
他需要做最后一次设备检查。
刻蚀腔体、气体管路、温控系统、真空泵——每一个部件他都亲手检查了一遍。这台drie设备是鸿远飞鸟去年花了八百万从德国採购的,是目前实验室里最贵的一台设备。
但明天它要做的事情,是这台设备的设计者从未想过的——在300尺度上进行高精度s刻蚀。
因为按照博世自己的技术路线,300的s刻蚀至少还需要两到三年的预研时间。
而苏辰准备用一次试刻蚀完成它。
检查完设备后,苏辰坐回实验台前。
桌上摊著二十四张草稿纸——十三张是他自己的,七张是和周志远一起推导的,四张是周志远独立完成的角向对称性降维方法。
从250到300。从一个人到两个人。从等效热弹性近似法到三阶修正模型。
所有的理论准备都已经完成。
剩下的,就是明天的六个小时计算——和那一次试刻蚀。
苏辰看了一眼窗外。深圳的12月初,天色暗得很快。路灯已经亮了。
他站起来,关了实验室的灯,锁了门。
回到宿舍,他吃了一碗泡麵,洗了个澡,定了明天五点半的闹钟。
然后上床睡觉。
他睡得很沉。没有做梦。
2020年12月3日。凌晨五点半。
闹钟响了。
苏辰睁开眼睛,起床,刷牙,洗脸,换上实验服。
五点四十五分,他走进了drie实验室。
打开所有设备的预热程序。drie设备的刻蚀腔体需要十五分钟达到工作温度。真空泵需要十分钟抽到工作真空度。
五点五十分,他打开电脑上的计算程序。
周志远的视频通话准时接入。
“早。“屏幕那头,周志远已经坐在了中科院力学所的办公室里。他的桌上摆著一杯咖啡和两个麵包,显然打算在这里坐一天。
“早。“苏辰说。
“参数都输好了“
“输好了。三组温度梯度、刻蚀气体配比、功率曲线。全部按照我们最终確定的方案。“
“好。“周志远深吸一口气,“那就开始吧。“
苏辰按下了回车键。
屏幕上,计算程序开始运行。。
正则化格林函数修正——角向对称性降维版本——开始计算300硅片在drie刻蚀条件下的三阶非线性热力学响应。
预计完成时间:5小时47分钟。
苏辰靠在椅背上,看著屏幕上缓慢移动的进度条。
“去吃个早饭吧。“周志远说,“五个多小时呢。“
“不饿。“
“那我吃了。“周志远拿起麵包开始啃。
苏辰没有回应。他的眼睛盯著屏幕,但视线似乎穿过了屏幕,看著更远的地方。
时间一分一秒地过去。。。。。一切正常。所有中间结果都在收敛。
苏辰终於起身去倒了一杯水。。周志远在北京那头已经喝完了第二杯咖啡。。
十一点十七分,计算程序弹出了一个警告框。
苏辰的身体瞬间绷紧。
他凑近屏幕——
“第七区域三阶耦合项叠代次数超出预设閾值。当前叠代:847次。预设上限:800次。“
“怎么回事“周志远的声音从屏幕另一端传来,带著紧张。
苏辰没有说话。他飞快地打开了计算日誌,查看第七区域的数据。
300硅片在计算时被划分为十二个区域。第七区域位於硅片边缘偏內侧——正好是三阶非线性效应最强的过渡区域。