“是边界条件的奇异性。“苏辰说，“第七区域的温度梯度在过渡区段出现了一个局部极值，导致三阶项的叠代收敛变慢。“

    “会影响最终结果吗“

    “不会。“苏辰看了三秒钟数据后说，“残差仍然在收敛，只是收敛速度慢了。把叠代上限调到1200次就行。“

    他手动修改了参数，让计算继续。

    进度条继续前进。

    周志远鬆了一口气。但苏辰的表情始终没变——从始至终都是那种平静的、近乎冷淡的专注。。第七区域的叠代在第1031次收敛了。

    苏辰看著这个数字，在笔记本上记下：第七区域边界过渡段三阶项收敛较慢。后续需要优化该区域的网格划分密度。但不影响本次计算结果。

    午饭是林薇让前台送上来的——两份盒饭，一份是苏辰的，一份是留给他下午吃的。

    苏辰用五分钟吃完了盒饭。。。。

    所有区域的计算结果都在收敛。三阶修正模型的预测值正在逐步输出。。

    苏辰站起来，走到drie设备前。

    他从无尘储存盒中取出第一片300硅片，检查了一遍，然后放入刻蚀腔体的载台上。

    关上墙体门。

    回到电脑前。

    两点四十七分。

    计算完成。

    屏幕上弹出一个结果窗口，密密麻麻地列著数百个参数——温度、气压、功率、时间、气体流量——每一个参数都精確到小数点后四位。

    这些就是300试刻蚀的全部工艺参数。

    “完成了。“周志远的声音有些沙哑——他已经在屏幕前坐了將近九个小时。

    “完成了。“苏辰说。

    他开始將参数逐一输入drie设备的控制面板。

    温度梯度曲线——输入。

    刻蚀气体配比——输入。

    rf功率曲线——输入。

    循环时间参数——输入。

    每一个参数他都核对了三遍。

    三点零七分。所有参数输入完毕。

    苏辰站在drie设备的控制面板前。

    右手悬在启动按钮上方。

    “苏辰。“周志远的声音从屏幕那头传来。

    “嗯。“

    “加油。“

    苏辰没有回应。

    他按下了启动按钮。

    “嗡——“

    drie设备启动了。真空泵的声音在安静的实验室里显得格外清晰。刻蚀腔体內的气体开始按照预设的配比注入。rf功率按照计算出的曲线缓缓上升。

    刻蚀开始了。

    300硅片表面，等离子体在纳米尺度上雕刻著微结构。每一个刻蚀循环都在硅的晶格中切割出精確的沟槽——深度、宽度、侧壁角度——每一个维度都由苏辰的三阶修正模型预测，由周志远的角向对称性降维方法计算。

    苏辰站在设备前，一动不动。

    他的眼睛盯著控制面板上实时跳动的数据——腔体温度、气体压力、rf功率、刻蚀速率——每一个数字都在预设范围內。

    没有异常。

    十五分钟过去了。

    三十分钟过去了。

    一个小时过去了。

    三点五十二分。第一轮刻蚀循环完成。

    苏辰看了一眼中间数据。刻蚀深度符合预期。侧壁粗糙度在可接受范围內。

    “第一轮正常。“他对周志远说。

    “好。“周志远的声音里带著一丝颤抖。

    四点三十七分。第二轮刻蚀循环完成。

    五点零一分。第三轮刻蚀循环完成。

    五点二十八分。

    设备发出一声轻微的“嘀“。

    刻蚀完成。

    所有循环结束。腔体开始降温。真空泵继续工作，抽走残余气体。

    苏辰等了五分钟，等腔体温度降到安全范围后，打开了腔体门。

    他用镊子小心地取出那片300硅片。

    在灯光下，硅片表面的微结构隱约可见——一排排整齐的沟槽，如同微观世界里的城市天际线。

    但肉眼看不出精度。

    苏辰把硅片放到白光干涉仪的载台上。

    这是测量s微结构精度的金標准设备——通过光波干涉原理，可以达到纳米级別的测量精度。

    他启动了测量程序。

    白光干涉仪的探头开始在硅片表面扫描。数据实时传输到电脑上，屏幕上渐渐浮现出一幅三维地形图——那是300硅片上微结构的真实形貌。

    扫描持续了大约八分钟。