再看清单,拨第二组:02。
再按“写入”。
00 01 02 03 04 05……
每拨一组,按一次写入。
四十分钟后,一百二十八条指令全部写进芯片。
吕辰站起来,腿都有点麻。
他扶着桌子,活动了一下膝盖:“通电。”
诸葛彪合上闸刀。
示波器屏幕亮起来,数字表开始跳。
验证板上,几盏指示灯开始闪烁。
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慢闪三次,快闪五次,然后灭掉。
过了一秒,又重复一遍。
“心跳程序跑通了。”钱兰松了口气,“芯片活着。”
吕辰点点头,这才刚刚开始:“把脉冲接进去。”
诸葛彪拿起一根信号线,一头插在脉冲发生器的输出口,一头插在验证板的一个输入引脚上。
示波器上,那条32.768千赫的方波,被芯片“看见”了。
“光栅尺。”
诸葛彪又拿起两根线,把光栅尺的两路正交信号,接到另外两个输入引脚上。
然后他坐回工装前,握住手轮。
“开环先跑一下。”
转动手轮,滑块上下滑动,读数头划过光栅尺,脉冲信号源源不断地送进芯片。
示波器上,除了时钟方波,又多出两路位置脉冲。
钱兰盯着数字表,那上面显示着芯片算出来的当前位置。
“4.237毫米……移动方向……正向……速度……”
她念着数字,声音越来越小,像怕惊扰了什么。
诸葛彪继续转手轮,滑块走到顶端,又走回来。
数字表上的数字跟着变,从大到小,从小到大,每一步都跟得上,每一步都对得上。
“芯片把位置算对了。”钱兰说。
吕辰盯着示波器看了几秒,然后说:“换闭环。”
诸葛彪拨动一个开关。
芯片的输出信号开始驱动电机。电机嗡嗡响起来,丝杠开始自动转动,滑块向上爬升。
吕辰在验证板上拨了一个数字:10.000。
那是目标位置,单位毫米。
芯片程序里预设了这个目标。
电机继续转,读数头一路跟着,脉冲信号不断反馈回芯片。
数字表上的数字一路跳。
9.847……9.921……9.973……9.991……9.997……
越来越接近10.000。
最后停在9.999毫米。
误差1微米。
三个人盯着那个数字,谁都没说话。
示波器上,波形还在跳,方波整整齐齐,一列一列,像士兵的脚步。
电机嗡嗡地响着,声音低沉稳定,像一头刚刚被驯服的野兽。
诸葛彪咽了口唾沫,烟叼在嘴角,半天没点。
“再试一次。”他说,声音有点哑。
吕辰把目标改成25.000毫米。
电机又转起来,丝杠嗡嗡嗡,读数头一路向上,停在25.001毫米。
误差还是1微米。
钱兰轻轻吸了一口气:“精度够了,GCA-201CGS光刻机工作台的要求,就是正负五微米,这远远达到了要求。”
吕辰又拨了一个数字,目标0.1毫米。
电机轻轻一抖,丝杠几乎看不出动,读数头微微挪了一点点。
数字表从25.001往下跳:25.001……24.998……24.995……
最后停在25.000毫米。
移动量0.001毫米,1微米。
诸葛彪把烟叼上,没点,就那么叼着,愣愣地看着那个数字。
“成了。”他说,烟在嘴角抖了抖,“真成了。”
钱兰长长地吐了口气,肩膀塌下去,整个人像被抽走了骨头。
吕辰站着,盯着那个数字,看了很久:“再试一次。”
诸葛彪又试了一次,目标改成50毫米。
电机转,滑块走,停在——49.998毫米。
误差两微米。
“再试。”
目标0.05毫米。
电机轻轻一抖,滑块几乎看不出动,数字表慢慢跳,最后停在50.000毫米。
误差零。
三个人盯着那个数字,谁都没说话。
过了很久,