第四百七十一章 晚霞行千里
一下“写入”按钮。

    再看清单,拨第二组:02。

    再按“写入”。

    00 01 02 03 04 05……

    每拨一组,按一次写入。

    四十分钟后,一百二十八条指令全部写进芯片。

    吕辰站起来,腿都有点麻。

    他扶着桌子,活动了一下膝盖:“通电。”

    诸葛彪合上闸刀。

    示波器屏幕亮起来,数字表开始跳。

    验证板上,几盏指示灯开始闪烁。

    小主,这个章节后面还有哦,请点击下一页继续阅读,后面更精彩!

    慢闪三次,快闪五次,然后灭掉。

    过了一秒,又重复一遍。

    “心跳程序跑通了。”钱兰松了口气,“芯片活着。”

    吕辰点点头,这才刚刚开始:“把脉冲接进去。”

    诸葛彪拿起一根信号线,一头插在脉冲发生器的输出口,一头插在验证板的一个输入引脚上。

    示波器上,那条32.768千赫的方波,被芯片“看见”了。

    “光栅尺。”

    诸葛彪又拿起两根线,把光栅尺的两路正交信号,接到另外两个输入引脚上。

    然后他坐回工装前,握住手轮。

    “开环先跑一下。”

    转动手轮,滑块上下滑动,读数头划过光栅尺,脉冲信号源源不断地送进芯片。

    示波器上,除了时钟方波,又多出两路位置脉冲。

    钱兰盯着数字表,那上面显示着芯片算出来的当前位置。

    “4.237毫米……移动方向……正向……速度……”

    她念着数字,声音越来越小,像怕惊扰了什么。

    诸葛彪继续转手轮,滑块走到顶端,又走回来。

    数字表上的数字跟着变,从大到小,从小到大,每一步都跟得上,每一步都对得上。

    “芯片把位置算对了。”钱兰说。

    吕辰盯着示波器看了几秒,然后说:“换闭环。”

    诸葛彪拨动一个开关。

    芯片的输出信号开始驱动电机。电机嗡嗡响起来,丝杠开始自动转动,滑块向上爬升。

    吕辰在验证板上拨了一个数字:10.000。

    那是目标位置,单位毫米。

    芯片程序里预设了这个目标。

    电机继续转,读数头一路跟着,脉冲信号不断反馈回芯片。

    数字表上的数字一路跳。

    9.847……9.921……9.973……9.991……9.997……

    越来越接近10.000。

    最后停在9.999毫米。

    误差1微米。

    三个人盯着那个数字,谁都没说话。

    示波器上,波形还在跳,方波整整齐齐,一列一列,像士兵的脚步。

    电机嗡嗡地响着,声音低沉稳定,像一头刚刚被驯服的野兽。

    诸葛彪咽了口唾沫,烟叼在嘴角,半天没点。

    “再试一次。”他说,声音有点哑。

    吕辰把目标改成25.000毫米。

    电机又转起来,丝杠嗡嗡嗡,读数头一路向上,停在25.001毫米。

    误差还是1微米。

    钱兰轻轻吸了一口气:“精度够了,GCA-201CGS光刻机工作台的要求,就是正负五微米,这远远达到了要求。”

    吕辰又拨了一个数字,目标0.1毫米。

    电机轻轻一抖,丝杠几乎看不出动,读数头微微挪了一点点。

    数字表从25.001往下跳:25.001……24.998……24.995……

    最后停在25.000毫米。

    移动量0.001毫米,1微米。

    诸葛彪把烟叼上,没点,就那么叼着,愣愣地看着那个数字。

    “成了。”他说,烟在嘴角抖了抖,“真成了。”

    钱兰长长地吐了口气,肩膀塌下去,整个人像被抽走了骨头。

    吕辰站着,盯着那个数字,看了很久:“再试一次。”

    诸葛彪又试了一次,目标改成50毫米。

    电机转,滑块走,停在——49.998毫米。

    误差两微米。

    “再试。”

    目标0.05毫米。

    电机轻轻一抖,滑块几乎看不出动,数字表慢慢跳,最后停在50.000毫米。

    误差零。

    三个人盯着那个数字,谁都没说话。

    过了很久,

本章未完,请点击下一页继续阅读>>