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    她把本子转过来，让吕辰和诸葛彪看。

    “37颗能用。”她说，“比上一轮8颗，翻了四倍多。”

    诸葛彪点上一根烟：“不枉我等当了一回反面教材，要是再不成，我都不知道怎么抬起头来了。”

    钱兰也有点感慨：“这几乎是设计和工艺的推倒重来，有这样的提升在情理之中。”

    吕辰拿起一颗好的芯片，在手里转了转：“万事俱备，就等光栅尺和脉冲发生器了。”

    光栅尺是在三月底送到的，长光所的吴高工亲自送来，拎着一个木头箱子，像拎着宝贝似的。

    他把箱子放在桌上，打开搭扣，掀开盖子。

    里面垫着厚厚的绒布，两把玻璃尺躺在绒布凹槽里，尺身细长，透明，像两条冰做的尺子。

    “吕工，这是你们要的光栅尺。”

    吴高工介绍：“主尺250毫米，副尺150毫米。刻线密度每毫米100线，配合四细分，分辨率能到1.5微米。”

    吕辰凑近了看，玻璃尺的表面，密密麻麻刻满了线条，细得像头发丝，用肉眼几乎看不清，只能在光线下隐隐约约看见一道道反光。

    “这怎么刻出来的？”诸葛彪眼睛都快贴上去了。

    “电子束刻。”吴高工骄傲的说道，“这可是我们所的独门技术，王先生说了，这一根尺子，外国人也就这水平，可惜读数头精度差了点，不然能到亚微米级。”

    这的确值得骄傲。

    吕辰道：“长光所果然名不虚传，您不如等几天，我们测试好了，把电机给您一起带回长光所。”

    吴高工摆摆手：“你们慢慢测，如果不是要找陈副所长拿GCA-201CGS的使用反馈，我是根本没时间跑这一趟的，第二代光刻机已经进入具体的方案论证环节，我的时间非常紧，陈副所长会亲自到长光所参与光刻机的研制，你们测试好后，到时候请他带来就可以了。”

    长光所的人还是习惯称呼陈光远为副所长。

    脉冲发生器是秦世襄教授的学生送来的，比光栅尺晚了两天。

    是一个小盒子，里面是一块pc电路板，用旧报纸包着，外面缠着麻绳。

    打开盒子，电路板露出来，巴掌大小，上面焊着石英晶体、三极管、电阻电容，手工布线，整整齐齐。

    板子一角贴着一张白胶布，上面用钢笔写着三个字：脉冲源。

    。”诸葛彪念叨了一句，“一百万次只差五次，这精度……”

    他把板子翻过来看背面，焊点圆润饱满，走线规整得像印刷上去的。

    “西军电的人，手真稳。”

    验证室被腾空了一半。

    实验台靠墙摆开，从左到右依次是：脉冲发生器、示波器、GPMC-01验证板、电机驱动板、电机本体。

    电机旁边架着一个简易工装，是请任长空搭建的。

    一块铸铁平板，上面立着一根丝杠，丝杠上套着滑块，滑块上固定着读数头。

    丝杠顶端装着一个手轮，摇动手轮，丝杠转，滑块上下移动。

    光栅尺的尺身固定在工装上，读数头固定在滑块上。

    滑块一动，读数头划过尺身，两路正交脉冲就出来了。

    “先把手转跑通。”吕辰说。

    诸葛彪坐到工装前，右手握住手轮，左手扶着滑块，像准备做什么精细手术似的。

    “慢点转。”钱兰在旁边盯着示波器。

    诸葛彪轻轻转动手轮，丝杠转一圈，滑块走4毫米。

    读数头划过光栅尺，示波器上开始跳波形。

    两路方波，一前一后，像两个错开半步的士兵。

    “相位差90度。”钱兰盯着波形，“方向能判了。”

    诸葛彪又反转手轮，两路波形的顺序立刻颠倒过来。

    “好。”吕辰说，“尺子没问题。”

    接下来是脉冲发生器。

    接通电源，石英晶体开始震荡。

    示波器上出现一条

    诸葛彪盯着那条波形，愣了几秒，然后嘟囔了一句：“西军电的东西，真稳。”

    验证板是重新搭建的，GPMC-01芯片插在电路板上，周围密密麻麻焊着电阻电容、胶合逻辑，飞线整齐了许多，红的、黄的、蓝的，走得规规矩矩，该拐弯拐弯，该固定固定，贴着标签，一点都不乱。

    吕辰拿起一份手写的程序清单，几十行指令，对应着芯片内部的微代码。

    那是他熬了两个通宵编的，把“心跳程序”翻译成芯片能懂的0101。

    他深吸一口气，蹲下去，把程序清单放在地上，然后开始拨动验证板上的开关。

    一排八个开关，对应八位数据。

    他看一眼清单，拨第一组：01。

    按