现了小批量稳定生产,纯度向着“9个9”乃至更高迈进;单晶硅的直径不断增大,质量稳步提升;林翰民带领的理论小组对硅中缺陷成因、氧化层质量、界面态等基础问题的研究取得了系列进展,撰写的大量内部研究报告成为指导工艺改进的宝贵财富;
在向真的坚持下,一个小型的光刻胶研究小组也悄然成立。
虽然条件极其简陋,只能从最基础的环化橡胶-双叠氮系负性光刻胶做起,但毕竟迈出了布局光刻技术的第一步。
人才培养方面,更是硕果累累。
何沁已成为分管工艺和质量控制的副所长,严谨细致,作风硬朗;王世钧是当之无愧的设备与中试负责人,哪里有问题,哪里就有他;当年招进来的那批年轻大学生,如今都已成长为各研究室、各工艺环节的骨干力量。
最让向真欣慰的是她在湖北遇到的“小天使”江晓的成长。
1972年,江晓以优异成绩从华中工学院机械系毕业,1975年又拿到了北大材料系的硕士学位,随后婉拒了多家单位的邀请,毅然回到了培育她的新材料研究所。
初到所里时,面对偶像向真和诸多前辈,她依然有些羞涩和拘谨,大部分时间都默默埋头工作,刻苦钻研。但她扎实的理论功底、出色的动手能力和在关键时刻表现出来的勇气与忠诚,很快就赢得了大家的认可。