波长13.5纳米。。
套刻精度优于3纳米。
晶圆吞吐量每小时140片。
“这不是PPT，而是真正的量产，第一台量产型EUV光刻机，将于今年年底交付。”
全场起立鼓掌。
这个消息尤如一道曙光，瞬间传遍了全球。
EUV光刻机的突破意味着芯片制造终于可以摆脱多重曝光的痛苦。
以前用193纳米波长的深紫外光刻10纳米以下的芯片，需要反复曝光四次、五次甚至六次。
良率低、成本高、周期长。。
这是半导体行业的圣杯，如今阿斯迈尔拿到了它
虽然不知道华星的7n怎样实现的，但如今阿斯麦尔有了更好的选择。
消息传到首尔，李在镕一个人在办公室里坐了很久。
EUV突破，对S-T来说不是好消息。
至少，不是他们想听到的那种好消息。
因为这意味着，先进位程的竞争将从“抱团取暖”重新回到“单打独斗”的轨道。
谁能买到第一台EUV，谁就能在7纳米节点上抢跑。
而S-T内部的资源争夺战已经打得不可开交。
如果EUV的订单只能满足一家，这或许是他们分家的一个关键点。
李在荣不敢想象那个答案揭晓时的场面。
果然，第二天的董事会上，S-T彻底失控了。
三桑系提出：三星在EUV研发上投入了超过三十亿欧元，是阿斯麦的内核合作伙伴之一，第一台EUV应该优先分配给原三桑的产线。
也就是说这台光刻机，必须要运到泡菜国。
台积电系反驳：台积电的先进封装技术全球第一，EUV必须搭配先进封装才能发挥全部威力，第一台EUV应该放在台岛。
双方争执不下。
李在荣试图调停，表示这个事情也不是不可以协商，但话还没说完，就被台积电的独立董事打断了。
“李会长，恕我直言。”施振荣推掉了不少工作，专程参加这场会，“这一年的合作，已经证明了一件事。
三桑和台积电的文化，根本不可能融合。
再拖下去，只会把两家都拖死。”
李在荣看着他，果然听到了这个最不愿意听到的答案，但他还想再坚持一下。
“施董的意思是……”
“与其一起沉船，不如各自求生。”
会议室里，所有的争吵都停了。
双方的人互相看了看，没有人反对。
因为在场的每一个人，心里都清楚，这艘船，从一开始就漏了水。
他们拼命舀了几个月，水不但没少，反而越来越多。
“表决吧。”刘德音在安静的会议室说出了决定，“S-T半导体，解散。
三桑半导体和台积电各自回归独立运营。
资产按出资比例分割，专利授权各回各家，产线在三个月内完成拆分。”
李在荣闭上眼睛。
然后他点了点头。
2017年10月10日，S-T半导体正式宣布解散。
这场被全球科技界寄予厚望的“半导体史上最大合并”，在维持了不到一年之后，黯然落幕。
三桑半导体元气大伤。
10n率低的问题没有解决，代工客户几乎全部流失，存储器业务的利润被大量抽调来填补代工业务的窟窿。
台积电同样伤筋动骨。
虽然先进位程的优势还在，但合并期间的人力和资源投入全部打了水漂。
更致命的是，在S-T内耗的这九个月里，华星的7nGAA已经量产跑起来了。
一步落后，步步落后。
而此刻的沉飞，正在华芯总部看着这条新闻。
李家辉坐在他旁边，把一叠报告递过来：“S-T解散后，他们的工程师正在大规模跳槽。
三桑那边已经有两百多人投了我们的简历，台积电那边也有八十几个。”
沉飞接过报告，翻了翻。
”他说，“不是技术不行，是人合不来。”
“我们要趁机挖人吗？”
“挖，”沉飞合上报告，“但要挑。
只要愿意来的，签字费、安家费、双倍工资，不要吝啬钱。
S-T解散释放出来的人才和产能空间，是华星扩大领先优势的最好时机。
错过这个窗口，以后就不会再有了。”
李家辉记下。
这时晶圆厂厂长又突