可他们连最基础的高能激光等离子体光源都没摸透啊？
严正行看向张云，见对方微微点头，才缓缓说道：
“比EUV更先进，具体原理现在没法多说，但可以透个底。
它的波长能稳定在13.5纳米以下，而且不需要像现在的EUV那样依赖极端复杂的反射镜组。”
第35章 能看到光吗？
这话一出，魏天华直接呆愣在原地。
13.5纳米正是EUV光刻机的核心参数，可严正行说不需要反射镜组？
要知道现在的EUV光刻机为了规避镜片吸收问题，光是高精度反射镜就用了11片。
每一片的制造难度都堪比艺术品，全球能生产的厂家不超过三家。
陈进一的眼睛里写满难以置信。
他也曾接触过顶尖光刻机研发，太清楚这个技术方向的颠覆性。
如果真能实现，等于绕开了EUV最卡脖子的供应链环节。
“这怎么可能？就算波长达标，能量密度、稳定性、持续工作时长……这些都是拦路虎啊！”
“我们试过用激光倍频技术逼近这个区间，结果设备开机半小时就因为过热报废了。”
望着对方难以置信的样子，严正行依旧是老样子：
“我可以保证，这种全新光源的转化效率将超过30%！
“30%？！”
陈进一猛地站起身，结果膝盖一不小心撞到桌上，疼得他龇牙咧嘴，但还是咬着牙道：
“这不可能！光源转化效率每提升1%都是天堑，您说的是理论值还是？”
要知道现在ASML的EUV光源转化效率还不到5%。
这意味着什么？
意味着他们要是知道这种光源技术的存在，一定会集体发疯，不计一切代价得到它！
“是工程样机就能达到的实际值。”
严正行语气平静，却像一颗炸雷在会客厅里炸开。
魏天华脸色发白，他终于明白这场合作的分量。
能让安全局和军队同时介入安保，恐怕真要搞出颠覆行业的东西。
“那……安保方面？”
魏天华声音发紧。
陈劲刚回应道：
“从协议签署生效开始，安全局会派驻三十名特勤人员接管厂区安防。
外围由军区调派一个连的兵力布防，无人机二十四小时巡逻。
任何未经授权的人员靠近都会触发一级警报。”
“魏总，你们团队里需要留下配合的人员，我们会马上安排背景审查。”
“没问题的话今晚就能办理入住。”
“接下来两个月，恐怕得委屈大家在这里闭环办公了。”
魏天华只觉得后背发凉。
他看着眼前这几位神色凝重的来客，突然意识到自己卷入的或许是足以改变龙国半导体命运的大事。
他拿起笔，手却有些发颤：
“这么大的动静，是要把样机直接量产吗？”
“当然不是。”
张云终于开口，指尖在桌面上轻轻敲击：
“我们先造一台验证机。”
“用你们的精密加工车间，超净间和镀膜设备，两个月内做出能稳定运行的样机。”
“至于具体原理，涉及的技术链条太长，说了你们也未必能立刻理解。”
“不如等成果出来，让机器自己说话。”
想要完全制造一台划时代的光刻机，即便是有全套技术，也至少需要5年时间！
但他们并不需要造出一台光刻机，只要能造出能够展示这种光源系统可行性的样本机就行。
只要有样本机在，他们就有足够的筹码和ASML公司谈判了。
等他们将东西拿到手，【逐光工程】就能进入高效生产阶段，以此为基础，打造出更多先进造物。
张云给国家的预期是两个月。
两个月时间一边测试样机，一边升级现有的光刻机型，以此达成初期战略芯片的产出需求。
陈进一还想多问问，却被魏天华用眼色赶紧制止。
魏天华深吸一口气，在协议末尾签下自己的名字：
“既然是国家任务，海天微电子没有理由拒绝。”
“只是……希望这台样机真能像严博士说的那样，让咱们龙国人也能抬起头来。”
笔尖划过纸面，魏天华心中翻涌的却远不止签字的沉重。
早年间，他还是个刚入行的毛头小子时，曾跟着团队为了学习先进技术远赴重洋。
那些年，在国外的实验室和工厂里，他看