核心部件被严丝合缝地嵌在框架中央,包裹着厚厚的防静电膜,泛着神秘的微光。
一种精密、沉重、不容亵渎的工业美感扑面而来。
现场响起了一片极力压抑的、低低的抽气声。
许多年轻技术员的眼睛瞬间瞪大了,死死盯着箱内,仿佛怕一眨眼,那东西就会消失。
开箱查验依次进行。
每个箱体打开后,王工都会带领两名同样来自长光所的技术员,对照着图纸和清单,对核心模块的外观、铅封、接口进行仔细的检查,确认运输途中没有可见的损伤或移位。
这个过程同样安静,只有王工的声音。
“三号定位销,完好。”
“西侧减震垫,无异常。”
“主电源接口护套,密封正常。”
全部五个箱体查验完毕,时间又过去了半个多小时。
王工转向陈光远和宋颜,声音因长时间压低说话而有些沙哑。
“陈厂长,宋老师,光刻机GCA-201CGS所有模块,经查验,铅封完好,外观无运输损伤,文件齐全。可以接收,进行吊装入场。”
陈光远看向宋颜,宋颜深深点头。
“接收。”陈光远只说了两个字。
接下来,是更加紧张、更加缓慢的吊装和转运环节。
那辆带着起重吊臂的工程车缓缓开到位,操作手是一位老师傅,据说有二十多年精密设备吊装经验。
吊臂缓缓展开、升高,巨大的吊钩垂下。
首先被吊出来的,是复杂的固定框架和填充物。
这些包装被小心翼翼取出,整齐码放在一旁铺着洁净垫布的空地上。
然后,才轮到真正的“主角”。
“双工件台系统”模块最先被“请”出来。
当吊索缓缓收紧,那个沉重无比的铸铁平台微微离开箱体底部时,所有人的心都跟着提了起来。
吊车操作极其平稳,几乎感觉不到晃动。
模块被缓缓吊出箱体,悬在半空。
下方,十几名早已等候多时、经过最严格筛选和训练的技术工人迅速上前。
他们全部穿着崭新、洁白的连体防尘服,戴着口罩、帽子和白手套,脚上是特制的防静电鞋。
两人一组,操作着四台特制的手动液压平板搬运车,准确地将搬运车平台推到模块正下方。
吊钩极其缓慢地下降,模块底部与搬运车平台接触的瞬间,发出轻微到几乎听不见的“咯”的一声。
负责指挥的老师傅
“停!微调!左前角,下两丝!”
操作吊车的老师傅眼神如鹰,手指微动,庞大的吊车做出了几乎难以察觉的响应。
“好!稳住!”
“松钩,慢,慢……”
吊索的张力一点点释放,三吨多的重量,逐渐、平稳地转移到四台人力搬运车上。
搬运车的液压系统发出极其轻微的“嘶”声,承载着重压。
当吊钩完全脱离,模块完全由搬运车承载的瞬间,现场至少有四五个人同时松了一口气,尽管他们自己可能都没意识到。
但这只是第一步。
接下来,这十几名“白袍”工人,像蚂蚁搬动巨象的食物,开始以人力为主,推动搬运车。
通道地面早已铺设了临时洁净地垫。
工人们动作整齐划一,速度缓慢而恒定,沿着画好的引导线,一点点将庞大的工件台系统模块,推向灯火通明的设备入口通道。
搬运车轮子在地垫上滚动,轻微摩擦声和工人们规律的呼吸声同频合拍,充满了原始而震撼的力量感。
每一个推动的动作,都小心翼翼,仿佛在移动的不是钢铁,而是满盘的清水,稍有不慎就会倾覆。
吕辰的目光紧紧跟随着这个最笨重的模块移动,直到它完全没入厂房内部通道的灯光中。
然后,他的视线立刻转向了正在被吊出的第二个箱子,投影物镜系统。
这是整个光刻机最核心、最精密、也最“娇贵”的部分。
当包裹着银色防静电膜的圆柱形模块缓缓离开箱体时,吕辰下意识地屏住了呼吸。
这里面封装着的,是数以百计的、经过极其艰苦的研磨、镀膜、装配和校准才得到的精密光学镜片组合。
它们对温度、振动、灰尘的敏感程度,远超常人想象。
这是整个中国光学工业能拿出的、看向微观世界的最锐利的眼睛,也是整个星河计划能否成功的物理基础之一。
这个模块的转运更加谨慎。
它被安置在一个带有独立精密调平底座的专用搬运架上,搬运架本身带有减震装置。
吊装、转移、推送入场的每一个环节,时间都被拉得更长