“这正是今天开会的目的。”梁先生点点头,“我的团队负责空间和建筑的‘容器’,但‘容器’里装什么、怎么装,需要各位工艺专家来定义。我们需要把各位的技术要求,翻译成具体的建筑参数,层高、柱距、荷载、洁净度、温湿度、防微振等级、管径、接口位置……每一个数字,都不能错。”
会议进入了实质性讨论阶段。
专家们开始从各自领域出发,提出技术要求。
梁先生团队的几个年轻建筑师飞快地记录,不时提问确认。
“扩散炉区域,地面荷载需要每平方米1.5吨,因为设备自重很大,还要考虑硅片搬运车的重量。”
“超纯水管路必须全程不锈钢
“特种气体站要独立基础,与主厂房基础完全脱开,防止振动传递。”
……
问题一个接一个,专业而具体。
梁先生听得极其认真,遇到不明白的术语,会立刻打断询问,直到完全理解。
他的团队成员更是如饥似渴地吸收着这些陌生的知识,对他们来说,这是一次从建筑思维向工业思维的艰难跨越。
吕辰坐在角落里,飞快地记录着。
他的笔记本上已经写了十几页,将专家们的技术要求分门别类:建筑结构类、暖通空调类、给排水类、电气类、气体动力类、洁净环境类、安全防护类……
专家们虽然踊跃发言,但大多局限于自己熟悉的领域,很少有人从“全流程”的角度提出问题。
这很正常,因为国内从来没有过完整的集成电路生产线,谁也不知道各个环节之间到底会怎样耦合、怎样相互影响。
讨论进行了两个多小时,初步的需求清单渐渐成型。
但梁先生皱起了眉头。
“各位专家,”他敲了敲桌子,“我听到的都是‘点’上的要求。但建筑是一个系统,这些要求放在一起,会不会冲突?比如,光刻车间要求超稳定温湿度,就要大功率空调;但空调机组本身会产生振动,振动通过管道传到车间,又会影响光刻精度。怎么平衡?”
仓库里安静下来。
专家们面面相觑。
确实,他们只想着自己的需求,没想过别人的需求可能会跟自己打架。
“还有,”梁先生继续,“物料流、人流、信息流,怎么在建筑空间里组织?硅片从进入厂区,到变成芯片出去,要走一条什么样的路线?这个路线会不会和人员上班路线交叉?会不会和废料运出路线冲突?”
他看向陈光远:“陈厂长,我觉得,我们需要一种更系统的工作方法。不能是建筑团队设计好了房子,工艺团队往里填设备;也不能是工艺团队提一堆需求,建筑团队机械地满足。我们需要一起,从一张白纸开始,把整个生产流程‘演’一遍。”
陈光远点点头,看向吕辰:“小吕,你有什么想法?”
所有人的目光都转向吕辰。
吕辰站起身,走到前面。
他没有看笔记,因为这些问题他思考了很久。
“梁先生说得对,我们需要一次系统的工艺推演。”他顿了顿,“由于时间紧迫,专家们还有各自的研究任务,我建议,开展一个‘结构化、分段式、任务驱动型’的密集研讨会。”
他走到一块空白的黑板前,拿起粉笔。
“我们用一到两周时间,根据梁先生设计的总体空间,对集成电路的工艺和生产线,进行一次蓝图分解与模块定义。”
粉笔在黑板上画出一个大框:“整个集成电路生产线,可以分解成几个清晰的模块。”他在框内写下硅片清洗与氧化、光刻与对准、薄膜沉积、离子注入与扩散、金属化与互联、测试与封装等内容。
“每个模块,”吕辰转身面向众人,“我们需要明确三件事:第一,输入条件,从上一环节来的硅片是什么状态?洁净度要求多少?第二,核心工艺参数,温度、压力、时间、化学气体配比、设备功率……,第三,输出标准,达到什么指标才算合格,可以转入下一环节。”
他顿了顿:“这次研讨会的目的,不是讨论每个模块的内部细节,那些细节各位专家回自己实验室去研究。我们的目的,是统一语言、明确边界、建立共同的技术‘作战地图’。让大家清楚,自己的任务在整个宏大拼图中,处于什么位置。”
“我提议,”吕辰看向梁先生,“请您的团队全程参与。因为只有理解了工艺逻辑,才能设计出真正合用的空间。”
梁先生点头:“理应如此。”
“然后,”吕辰继续说,“我们将各模块的深度推演任务,分配给对应的专家。各位回到自己的工作组,光刻组、材料组、化学组、机械组等等,带着