第二百一十六章 试产线出现铜污染隐患
    深度清洗后的国产高纯硅片试产线重新激活。。

    张京京站在中央控制台前,双手抱胸,紧盯着十二块分屏上的实时参数。他身后的工程师团队鸦雀无声,所有人都知道这次重启的意义:如果清洗成功,意味着他们掌握了应对铜污染的关键技术,国产硅片的量产之路就迈过了最危险的坎;如果失败……

    “第一批硅片开始清洗工序。”操作员报告,声音在寂静的控制室里显得格外清淅。

    屏幕上,机械臂将三片十二英寸的测试用硅片送入清洗槽。超纯水以精确控制的流速冲刷着硅片表面,超声波发生器激活,发出人耳听不见的高频振动。。”

    张京京的目光锁定在铜离子监测曲线上。。

    清洗持续了十五分钟。按照吴文山提供的方案,这是第一步“螯合剂冲洗”的时间。

    “清洗结束,开始纯水漂洗。”

    硅片被转移到漂洗槽,更高纯度的水流洗去残留的化学药剂。这是最危险的环节:如果系统里还有铜污染源,漂洗过程会将其暴露无遗。

    时间一秒一秒过去。

    控制室里只有设备运行的嗡鸣和偶尔的按键声。。”。”。”

    数据在缓慢上升,但仍在安全范围内。张京京微微松了口气。按照经验,如果有污染,前五分钟就会急剧飙升。

    “漂洗十分钟,完成。硅片传送至干燥区。”

    机械臂平稳地将硅片送出,送入氮气干燥舱。整个过程看起来无懈可击。

    “采样检测。”张京京下令。

    三片硅片中的一片被送入旁边的快速分析室。

    “低于0.1ppt!”控制室里爆发出压抑的欢呼。这个数值意味着硅片表面的铜污染已经控制在工艺允许范围内,可以进行后续的氧化、光刻等工序了。

    张京京紧绷的肩膀终于放松下来。他拿起加密电话,准备向陈醒和林薇报喜。

    但就在他的手指即将触到拨号键时,刺耳的警报声突然撕裂了控制室的平静。

    不是一声,是接连三声。

    “警报!超纯水储罐B-3铜离子浓度异常!”

    “警报!主循环泵出口监测点铜离子浓度超标!”

    “警报!硅片清洗槽回流管检测到脉冲式污染峰值!”

    张京京猛地转身,扑到控制台前。。

    脉冲式污染。

    “立即停止所有水流!关闭系统阀门!”张京京吼道,“激活应急隔离程序!”

    工程师们的手指在键盘上飞舞。屏幕上,一个个代表阀门状态的图标从绿色变成红色,水流被强制切断。但污染数据并没有立即下降,相反,在系统停滞后的三十秒内,几个监测点的浓度又出现了一次脉冲峰值,然后才缓缓回落。

    “这……这不合理。”负责水系统的刘工程师脸色苍白,“系统已经停运,没有水流,铜离子怎么会突然出现又突然消失?除非……”

    “除非污染源本身能够主动释放。”张京京接话,声音冰冷。

    他调出系统结构图,用红色标记出刚刚出现污染的三个点:储罐B-3、主循环泵、清洗槽回流管。这三个点在物理位置上并不相邻,中间隔着数十米的渠道和多个控制阀。

    “能同时污染这三个点的,只有两种可能。”张京京快速分析,“第一,整个系统都被污染了,但之前的清洗数据证明不是这样。第二……”

    他在图上画了一个圈,将三个点包围起来:“有一个中央控制节点,能够同时向这三个点投放污染物。”

    控制室里安静得可怕。所有人都明白这句话的含义:如果污染是“投放”而不是“泄露”,那就意味着系统里存在某种智能化的破坏设备。更可怕的是,这个设备能够根据监测系统的采样周期,精确地在采样间隔期释放污染物,脉冲式爆发的模式完美避开了在线监测仪每十五分钟一次的定点采样。

    “查控制逻辑。”张京京下令,“过去一小时内,所有自动阀门的开关记录、泵的启停记录、化学药剂添加记录,全部调出来。”

    数据快速滚动。五分钟过去,负责控制系统的工程师抬起头,眼神里带着难以置信:“张博士,有一组异常记录……在警报发生前两分钟,储罐B-3的氮气复盖系统被远程关闭了三十秒,然后又自动开启。”

    “氮气复盖?”张京京皱眉。超纯水储罐采用氮气复盖是为了防止空气中的二氧化碳溶解导致pH值波动,但这和铜污染有什么关系?

    “关闭氮气复盖后,储罐内部的压力平衡被打破。”刘工程师突然想到什么,“如果……如果储罐内壁的某个位置被植入了铜释放设备,在正常氮气正压下,设备是关闭的。一旦压力平衡被打破……”

    “设备就会激活,释放铜离子。”张京京明白了,“但这是怎么实现的?储罐是不锈钢材质,内壁光滑,怎么可能植入设备而不被发现?”

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