会议室里陆续走进八个人。除研发中心的三位本地主管外,其馀五位都是外聘的资深技术顾问,年龄都在五十岁以上,在中国台湾半导体产业有着三十年以上的经验。最后走进来的,正是吴文山工程师,六十二岁,头发花白但梳理整齐,穿一件浅灰色夹克,手提一个老旧的皮质公文包,神情温和而略带疲惫。
“吴工,早。”林薇起身致意,语气躬敬但不失距离感,“感谢您这么早赶来。”
“林总客气了。”吴文山微微欠身,在预留的位置坐下,打开公文包,取出笔记本和一支老式钢笔,“材料问题事关重大,应该的。”
所有人都落座后,林薇开门见山:“各位,昨晚美国半导体行业协会的限制清单,大家应该都已经看到了。清单涉及的十二类关键材料,是我们14n线运转的生命线。今天这个会,就是要集思广益,查找短期应对方案和长期替代路径。”
她示意助理分发资料:“第一部分,是清单的详细解读和我们目前的库存状况。第二部分,是已经激活的非常规采购渠道进展。第三部分,”她顿了顿,“是关于国产材料替代的现状和瓶颈。”
会议室里响起翻阅纸张的声音。几位顾问的脸色越来越凝重。
“高纯氟化氢……我们库存只有四周用量。”一位姓陈的顾问摘下眼镜,揉了揉鼻梁,“日本昭和电工已经正式发函暂停供货,韩国SK材料虽然没明确说,但暗示‘产能已排满’。中国台湾本地几家供应商,产能有限,而且……”
“而且他们不敢得罪美国。”林薇接话,语气平静,“所以我们不能把所有希望寄托在传统供应链上。昨晚我们已经激活了三类渠道:第一,通过东南亚的贸易公司进行转口贸易;第二,接触俄罗斯和伊朗的化工企业,评估他们的产品能否达到半导体级标准;第三,在现货市场高价扫货。”
吴文山仔细阅读着材料,突然抬头:“林总,现货市场的价格已经涨到平时的五到八倍。这样扫货,资金压力会非常大。”
“钱不是问题。”林薇回答简洁,“问题是,即使愿意出高价,也不一定能买到足够的量。而且,如果我们大规模扫货,可能会进一步推高全球价格,伤及国内其他兄弟企业。”
她看向众人:“所以今天的重点,是第三部分,国产替代。”
负责材料研发的本地主管李博士调出投影片:“根据中央研究院的规划,十二类材料中,目前有国产化能力的有五类:高纯硅片、部分电子特气、CMP研磨浆、封装基板材料、以及光刻胶配套的显影液。但问题在于,”
他切换到下一页,上面是密密麻麻的性能对比数据。
“纯度、颗粒度、一致性、批量稳定性,都与进口产品有差距。”李博士指着图表,“以高纯硅片为例,国内最先进的‘晶盛科技’能稳定生产8英寸、部分12英寸硅片,但金属杂质含量比日本信越的产品高一个数量级。用于28n上工艺勉强可以,但14n…”
他摇摇头,没有说下去。
会议室陷入沉默。窗外的阳光在地板上缓慢移动,空调出风口发出轻微的嗡鸣。
吴文山在这时开口了,声音平稳而清淅:“李博士,你刚才说的金属杂质含量问题,主要是哪些元素?”
“铜、铁、镍,尤其是铜。”李博士回答,“铜在硅中的扩散系数太高,即使只有ppt级别的污染,在高温工艺中也会扩散到整个晶圆,导致器件失效。”
“铜……”吴文山重复这个词,眼神若有所思。
林薇敏锐地捕捉到了这个细节。她顺势说:“说到铜污染,正好,今天凌晨大陆材料所发来一份紧急报告。”
她示意助理分发第四份文档。文档只有三页,标题是《国产高纯硅片试产线铜污染事故初步分析报告》。
会议室里的气氛瞬间变了。
几位顾问快速翻阅报告,脸色都变了。报告里不仅有详细的数据,还有电子显微镜拍摄的污染部件结构照片,以及那个诡异的“温-pH窗口”释放曲线。
“这……这不是普通的设备故障。”一位姓黄的顾问声音发颤,“这个滤芯的结构设计,分明就是……”
他没有说下去,但所有人都明白那个词:蓄意破坏。
吴文山看得最仔细,他几乎是贴在纸面上,用放大镜仔细查看那些结构照片。他的手微微颤斗,不是恐惧,而是一种……林薇说不清的复杂情绪。
“吴工,”林薇开口,声音放轻了些,“您在宝岛电路三十多年,经历过不少技术事故。以您的经验看,这种污染模式,可能是偶然吗?”
所有人的目光都聚焦在吴文山身上。
老人放下放大镜,摘下老花镜,长时间沉默。阳