实验室内部，真空泵组的低吼声中，技术人员正在执行紧急在线清洗程序。十二个清洗喷头从机械臂上精准伸出，向EUV光源内核光学腔体内喷射特制的高纯度氩气-氦混合等离子流。这是金秉洙团队设计的“非接触式镜面清洁技术”，理论上可以在不停机情况下清除镜面上纳米级污染物。
。”一名年轻工程师的声音在通信频道里响起，带着明显的紧张，“等离子体密度达到标准，开始计时。”
“所有光学传感器数据同步记录。”金秉洙的声音嘶哑，“特别注意第二反射镜组后的光强分布变化。”
屏幕上，数十个监测点的数据开始跳动。。实验室里有人轻轻松了口气。
但金秉洙的眉头皱得更紧了。他太了解这台耗费了五年心血的“追光二期”原型机了，如果问题真的只是镜面污染，在线清洗后的恢复曲线应该是徒峭的，而不是这种有气无力的爬升。
果然，在清洗程序进行到第八分钟时，异变陡生。
“警报！第四激光束同步偏差超限！”主控系统冰冷的电辅
屏幕上，代表十六道子激光束同步状态的波形图突然紊乱，其中第四束光的相位明显落后于其他光束。更致命的是，锡滴喷射系统监控画面显示，原本应
“停止清洗！立即停止！”金秉洙几乎是对着麦克风吼出来，“切换到手动模式，保留第七到第十二束激光，关闭其馀光束！”
操作员的手指在控制台上飞舞。。
“腔体压力异常上升！
“锡滴收集器温度飙升，超过安全阈值！”
“紧急停机程序激活！所有激光器安全闭锁！”
巨大的嗡鸣声骤然停止，实验室陷入一种令人心悸的寂静。只有冷却系统还在运转，发出低沉的、仿佛叹息般的声音。
金秉洙一拳砸在控制台上，不锈钢台面发出沉闷的回响。他身后的团队成员们脸色苍白，这次紧急停机，意味着至少需要48小时来重启系统、排查故障、重新校准。而按照“深红路线图”的时间表，“追光二期”必须在两周内完成连续168小时的长稳测试，才能为14nEUV工艺验证提供可靠的光源保障。
“金博士。”一个冷静的声音从身后传来。
金秉洙猛地回头，看到陈醒不知何时已经站在观察窗前。他穿着简单的黑色工装，脸上看不出长途奔波后的疲惫，只有一种沉静的专注。
“陈总，您怎么……”金秉洙有些吃惊。从深城到合城，即便是最早的航班，此刻也不该出现在这里。
“专机。”陈醒简短解释，目光已经投向主控屏幕上冻结的数据流，“停机前最后一毫秒的光谱分析数据调出来。”
技术人员迅速操作。。
“这些是……”金秉洙凑近屏幕。
“锡的L系辐射线，还有微弱的氧Kα线。”陈醒用手指在屏幕上圈出几个峰位，“激光击偏的锡滴没有被完全汽化，部分液态锡溅射到镜面上，在后续激光脉冲中二次加热，产生了这些异常辐射。更麻烦的是，”
他放大光谱图的一角：“看到这个微小的连续背景了吗？这是高能电子轰击镜面镀膜层产生的韧致辐射。说明有带电粒子在腔体内积累。”
“静电问题？”金秉洙瞬间反应过来。
“比那复杂。”。画面经过AI增强后清淅显示：在第四激光束失步的那个瞬间，锡滴喷射轨迹出现了微妙的扭曲，仿佛被无形的力场牵引。
“腔体内存在局部电场畸变。”陈醒断言，“可能是某个高压电极的绝缘材料在长期热负荷下发生了介电性能退化，产生了漏电流。这个漏电场干扰了激光束的传播路径，也影响了锡滴的飞行轨迹。”
“需要开腔检查。”金秉洙立刻明白了问题的严重性，“如果是高压部件的问题，可能需要更换整个电极模块，重新做真空封装和烘烤。时间……”
“我们没时间。”陈醒打断他，“‘深红路线图’里，EUV整机集成节点是硬性要求。如果‘追光二期’的长稳测试推迟，会连锁影响到14nEUV工艺开发、‘天权6号’芯片设计，乃至整个5n术平台的进度。”
他走到实验室的落地白板前，拿起记号笔：“常规的排查流程是什么？”
金秉洙迅速列出步骤：“第一步，等腔体冷却至室温，至少12小时；第二步，破真空开腔，目视检查和仪器检测，6小时；第三步，定位故障部件，拆卸更换，8小时；第四步，重新封装，抽真空，烘烤除气，至少24小时；第五步，系统重校准，12小时。总计……至少62小时，这还是最理想的情况。”
“太长了。”陈醒在白板上划掉这个方案，“我们需要在24小时内恢复测试。”
“这不可能！”一个年轻工程师脱口而出