数百台服务器组成的计算集群昼夜不休,散热风扇的轰鸣交织成一首沉闷的战歌,屏幕上滚动的芯片设计图、仿真曲线和良率分析报告,构成了这场“螺蛳壳里做道场”攻坚战的内核战场。
梁志远的眼睛布满血丝,下巴上冒出了青色的胡茬。
他将一件厚厚的冲锋衣搭在椅背上,手里攥着一份刚打印出来的DTCO仿真报告,指节因用力而微微发白。
“章宸博士,你看这里。”
他对着视频通话界面挥手,将报告凑近摄象头,
“按照我们‘设计换良率’的思路,把高性能CPU内核和部分缓存拆分。这性能损失……太大了。”
视频那头的章宸同样面色憔瘁,他身后的白板上写满了关于FinFET鳍片宽度与栅氧厚度的复杂公式。
“漏电率问题出在DUV多重图形的掺杂工艺上,”
章宸的手指在触控板上滑动,调出一份三维晶体管结构图,
“三重图形导致的离子注入深度不均匀,我们之前的仿真模型低估了这种边缘效应。。你让团队按这个新结构重新跑仿真。”
“牺牲性能?”
旁边一位年轻工程师忍不住插话,他叫陈默,是“星火计划”的优秀学员,脸上带着对极致性能的执着,
“章博士,这样一来,我们的CPU单核频率会不会比水果的W3芯片差太多?市场能接受吗?”
章宸看着屏幕里的年轻人,眼神温和却坚定:
“陈默,我们现在的首要目标是‘能造出来、能量产’。14n艺对我们而言,是从0到1的生死线,不是和巨头在极限性能上赛跑的舞台。先解决有无,再谈优劣。等良率稳定了,我们可以通过架构优化、甚至下一代工艺把性能追回来,但良率上不去,一切都是空谈。”
梁志远拍了拍陈默的肩膀:
“章博士说得对。用DUV走多重图形,本身就是逆流而上,我们必须学会妥协,在性能、功耗、良率这个‘不可能三角’里,找到属于我们自己的最佳平衡点。”
陈默深吸一口气,点了点头,立刻转身投入到仿真参数的调整中。实验室里再次只剩下键盘敲击声和服务器风扇的嗡鸣。。
“有进展!”
团队里响起一阵压抑的欢呼。
。我们必须找到影响良率的关键瓶颈。”
他打开良率分析系统,调出晶体管失效分布图,屏幕上红色的失效热点,如同刺眼的警告,主要集中在CPU内核的栅极局域和芯粒互联的微焊盘处。
“栅极局域的失效,根子在光刻胶。”
一位工艺工程师分析道,
“我们现在用的国产光刻胶,在14n点的线宽均匀性和边缘粗糙度上,经过三次曝光后,还是差了口气。”
“互联焊盘的问题,在于DUV多重图形导致的层间对准误差累积。”
另一位封装专家补充,
“每次曝光都有纳米级的偏差,叠加之去,焊盘的共面性就超标了,直接影响信号完整性和连接可靠性。”
两个内核问题,如同两只拦路虎,让实验室的气氛再次凝重。
梁志远立刻拨通了林薇的电话,语速急促:
“林总,我们被卡住了:一是14n光刻胶的线宽均匀性,二是多重图形的层间对准误差。需要供应链和工艺团队的紧急支持!”
林薇那边的背景音同样嘈杂:
“光刻胶,‘火炬’攻坚组联合沪市化学所研发的新一代产品刚完成中试,样品明天空运到芯谷。对准误差,华科院自动化所开发的基于‘小芯’AI算法的视觉对准系统已通过验证,我让他们技术团队下午就带原型机过来对接!”
支持来得如此之快,让团队精神一振。
下午,AI视觉对准系统抵达。!互联焊盘的失效热点预计能减少一半以上!”
第二天,新一代光刻胶送抵。工艺团队立刻激活验证流程。
显微镜下,经过三次曝光、显影、刻蚀后的栅极图形边缘清淅、整齐,那令人头痛的锯齿状缺陷消失了!
“所有障碍已扫清,激活第一次工程流片!”
梁志远下达指令,整个研发中心的气氛瞬间绷紧至极限。
晶圆在产在线流转,光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、化学机械抛光……每一道工序都牵动着所有人的心。
三天后,首批20片工程样片完成,被送入测试实验室。
探针台下,数据开始跳动。
“漏电流达标!”“驱动电流超预期!”!”……
一项”时,实验