“它其实是采用折射和反射相结合的光路射击，且曝光区域与光刻机透镜之间充满水的光刻机设备.”
浸没式光刻机的优点，在于系统数值孔径的增大，提升了步进扫描式光刻机的成像分辨能力，可以满足45纳米以下成像分辨率的工艺要求。
缺点也十分明显，那就是因为浸没液体的引入，导致设备本身的工程难度大幅度增加。
“关键技术主要包括浸没液体供给与回收技术、浸没式液场维持技术、浸没式光刻污染与缺陷控制技术、超大数值孔径浸液式投影物镜开发与维护、浸液条件下成像质量检测技术等”
王多鱼并没有全说那些关键技术。
毕竟这些都是围绕着浸没相关的技术，说实话，对现在的李康民他们来说，研发难度还是非常大的。
就这个改进，一旦完成的话，那么就可以超越西方国家，使得我们的光刻机能够生产出两位数的纳米芯片。
目前市面上的芯片那都是三位数纳米芯片，比如现在的步进式扫描光刻机，现在还只是三百六十五纳米，都还没进入到一百九十纳米这个级别。
所以李康民他们还有很大的技术优化空间。
“听君一席话胜读十年书！”
姚文荣惊叹不已：
“王教授，您太厉害了，我都不敢想象，如果您能够全程参与光刻机的研发工作，恐怕我们早已经进入到两位数纳米芯片时代了.”
李康民和薛宇恒两人连连点头附和，表示赞同。
对于这样的彩虹屁，王多鱼早就听习惯了。
“我就是技术指导，你要是让我真的参与研发的话，我恐怕会是两眼一抹黑”
这不是谦虚，而是事实。
毕竟王多鱼厉害的地方在于计算、创新设计等，但在实际的实验测试等，他就不那么精通了。
比如光刻机的透镜，为了能够实现高分辨率，要求透镜必须具有高折射率，也就是要求透镜材料必须非常纯净和均匀，任何微小的不均匀性或缺陷都可能导致图像失真。
光刻过程中，刚才王多鱼提及的CaF2光源，其光线波长极短，能量极高，透镜受到高能量光的加热，因此透镜材料必须具有良好的热稳定性，以防止由于温度变化导致的焦点漂移问题。
所以在研发过程中，对这样的材料技术要求自然是非常高。
王多鱼或许就不具备这样的细致心理，甚至细微的失败，都有可能让他抓狂。
这种科研并不会给他带来任何的成就感，因为难度系数非常高，他自觉做不了。
就好像要让李康民他们去求导求解那些数学难题一样，他们绝对是没办法做到的。
“王教授，如果我们真的要启动这个项目，按照您刚才的建议，只怕这次的投资会更高.”
李康民沉吟说道，目光中透露着担忧：
“我就怕校领导层会不太愿意，这一次需要很多种材料和高端设备，特别是您提及的CaF2光源，这种光源.”
众所周知，光源是光刻机的核心部件之一，必须具备良好的光学性能、稳定性和耐久性，氟化钙便是光刻机光源的重要材料。
作为一种常见的光学材料，氟化钙可以用于制造光学元件、窗口等，其化学式便是CaF2，是一种无色透明的晶体。
由于其具有较好的光学和物理性质，氟化钙的透过率高，能达到百分之九十以上，且在紫外到红外的波段范围内具有较高的透过率。
但是在制备光刻机光源过程中，氟化钙的制备要求精度高、晶体结构均匀无疵点，并且氟化钙的表面要平整、光洁、无裂纹、无划痕等表面缺陷。
另外，光刻机光源的使用过程中，还需要对氟化钙的温度、湿度等环境因素进行控制，以确保其稳定性和寿命。
所以终上所述，仅仅只是制备光刻机CaF2光源，便需要耗费大量的设备、资金等，背后代表了大量的资金投入。
特别是在研发阶段，更是如此，更别说王多鱼要求在半年内完成，那么这款光刻机的研发要求之高，投入之多，就更不用说了。
王多鱼当即便说道：
“你们不用担心这件事，我肯定会处理好项目投资的事情，肯定不会让你们操心资金和设备的问题.”
“节前我就已经跟刘书记和吕校长聊过这件事了，他们很支持我的决定，总之你们不需要担忧资金的事情，我来解决.”
“你们唯一需要操心的就是技术研发的问题，还有就是半年内给我研制出来，我们已经落后太多了，不能够再继续磨磨蹭蹭下去了”
听到王多鱼这么说，李康民他们三人顿时感觉到如山的压力，扑面而来。
姚文荣更是忍不住再次确认道：