帝国的电子管工艺技术还是非常先进的。
因此,稳步推进晶体管工艺,开发出更加先进的光刻机技术,完善集成电路技术,这才是咱们应该干的事情。
依赖从国外进口光刻机技术,这肯定行不通。
就好像现在,不仅仅要按照每台四十五万美元的价格来采购光刻机,而且还得排队等候。
等人家GCA公司生产出来之后,黄花菜都凉了。
靠人不如靠己!
接下来半天时间,等刘德本讨价还价得差不多了,王多鱼这才拿出一套理论指导。
“步进重复光刻主要应用在零点二五微米以上的工艺,我可以跟闫厂长你们简单介绍一下这项技术的理论:光刻时掩膜版固定不动,晶圆步进运动,完成全部曝光工作.”
其实还有一个技术理论,那就是步进扫描光刻机,这一技术在曝光视场石村及曝光均匀性上更有优势,在零点二五微米以下的制造中减少了步进重复光刻机的应用.
这些都是非常不错的技术理论,可想要实现的话,也不是那么容易的。
见王多鱼对光刻机的工艺技术居然掌握得如此充分,汤裕民、闫若新他们都被唬住了。
隔天,新的谈判继续,只不过跟昨天的趾高气昂不同,这一次,汤裕民他们确实非常有诚意。
长达两个多小时的谈判结束,下午又继续更多项目细节的敲定工作,直到黄昏日落的时候,光刻机研发项目才算是彻底敲定下来。
这个项目将由哈工大来主持,机电部四五所和中科院幺零九厂两家单位协同研发。
项目初期资金为一千万元人民币,后续将会陆续投入两千万人民币,具体视情况而定。
哈工大将会在冰城建设一座新的研究所,用于后续相关技术的研发和改进。