硅单晶棒
或者是机械振动?一点一点查,把所有可能的原因都列出来,逐一排除。”

    那段时间,陆向真几乎泡在了实验室和会议室。

    她与林翰民、江晓、何沁、王世钧以及每一位参与项目的技术人员反复讨论,核对每一个数据,检查每一个环节。

    沈屹晚上来接她,常常看到她办公室里亮着灯,她对着画满曲线和公式的黑板凝神思索,手边放着早已凉透的饭菜。

    功夫不负有心人。经过无数次失败、总结、改进,他们最终通过优化热屏设计、引入更精密的数字功率控制系统、加强设备基础抗震性能以及进一步提纯原料等多管齐下的方法,终于稳定地拉制出了共和国第一根无位错、电阻率均匀的4英寸硅单晶棒!

    当那根闪烁着均匀金属光泽的“巨柱”从炉中缓缓升起时,整个车间爆发出经久不息的欢呼声。

    王世钧这个硬汉再次红了眼眶,用力拍着身边年轻人的肩膀。江晓激动地拿着检测报告,手微微颤抖,声音哽咽地向陆向真汇报:“所长,成功了!各项指标……全部达标!”

    这是里程碑式的突破!

    它标志着共和国自主掌握的硅材料技术,终于迈过了4英寸的门槛,初步具备了支撑微米级集成电路制造的能力。

    “关键辅助材料的攻关”同样是一场艰苦的战役。

    陆向真深知,没有高纯的光刻胶、超纯的化学试剂、电子级的气体和靶材,即使有了高质量的硅片,也造不出先进的芯片。这些辅助材料种类繁多,技术要求极高,长期被国外大公司垄断,价格昂贵且供应受限。

    她抽调精干力量,组建了多个专项组。

    “光刻胶组”由一位新引进的高分子化学博士负责,在原有环化橡胶体系的基础上,开始向更先进的正性光刻胶进军。

    这涉及到全新的感光机理、树脂合成、配方优化,难度极大。

    实验室里充满了各种化学试剂的味道,研究人员需要反复调整配方,进行涂胶、曝光、显影测试,然后在显微镜下一点点对比线条分辨率、对比度、抗刻蚀性能。

    失败是家常便饭,常常因为一个微小的杂质或者配比不当,就导致整批实验失败。

    “超纯化学试剂组”则与化工部门合作,重点攻关电子级硫酸、□□、双氧水等。

    超纯意味着杂质含量要达到ppb(十亿分之一)甚至ppt(万亿分之一)级别,对生产工艺、容器材质、环境控制提出了近乎苛刻的要求。

    王世钧带着人几乎住在了合作工厂,改造设备,优化流程,建立超高纯度的检测分析方法。

    “电子气体和靶材组”也同步启动,虽然基础更薄弱,但也开始了艰难的探索。

    每一类材料的突破,背后都是无数个日夜的奋战、无数次的失败重来。

    经费紧张,设备简陋,但他们硬是凭着一股韧劲,一点点啃下了这些硬骨头。

    当第一批性能基本达标的正性光刻胶样品下线,当超纯□□的杂质含量首次达到设计指标时,所带来的成就感是无与伦比的。

    它们或许暂时还无法与进口顶级产品媲美,但意味着共和国在半导体材料领域迈出了更完整、更坚实的一步。

    “新型功能材料的探索”也在陆向真的布局下悄然展开。

    她始终保持着对国际科技前沿的高度敏感。

    当国际上化合物半导体——如砷化镓、超导材料、激光晶体等研究兴起时,她意识到这些可能是未来信息技术、能源技术、国防技术的制高点。

    她在研究所内成立了“新材料探索研究室”,虽然规模不大,经费有限,但给予了研究人员较大的自由探索空间。

    一些富有想象力的年轻人在这个平台上,开始接触和研究这些新奇的材料,为研究所乃至国家的未来进行技术储备。

    在此期间,研究所的“学术地位”也日益提升。

    陆向真作为国内半导体材料领域的开拓者和领军人物,先后担任了中国科学院学部委员、中国材料研究学会副理事长、国家自然科学基金委员会材料学科评审组组长等重要学术职务。

    她主持召开了多次全国性的半导体材料学术会议,推动学科交流与发展。由她主编的《半导体材料科学与技术》丛书,成为了该领域的经典著作,影响了一代学子。

    她尤其重视人才培养。她亲自招收和指导博士、硕士研究生,对学生要求极其严格,但又毫无保留地传授知识、提供机会。

    她常对学生说:“搞科研,没有捷径可走,就是要坐得住冷板凳,下得了苦功夫。但同时,眼界要开阔,思路要活跃,要敢于想别人不敢想,做别人不敢做。”

    她培养的学生,很多后来都成为了国内高校、科研院所和企业的技术骨干,是真正的“桃李满天下”。

    而沈屹的工作重心则更多地转向了国家层面的战略谋划。

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