而在光刻机周围,除了海微的工程师,还有好几位佩戴着PCT徽章的工作人员!
他们手持平板或专业记录设备,围着那台暴露了部分内部结构的光刻机,脸上无一例外地写满了惊叹和难以置信!
他们正与海微的工程师们热烈地交流着,手指不断指向那奇特的光源结构和机器运行的实时数据。
神情激动,如同发现了新大陆的探险家。
PCT专员!
不止一个!
他们在现场审查!
就在这机器运行时!
汉斯感觉自己快要窒息了。
他必须看得更清楚!
特别是控制台的数据!
那才是关键!
他像着了魔一样,沿着观察窗的墙壁急切地寻找着更好的角度。
突然,他发现侧前方一个用于设备维护的狭窄通道似乎无人看守。
尽头似乎有一个更靠近中心控制台的观察口!
机会!
他顾不得许多,像做贼一样,弓着身子,快速地溜进了那条通道。
幸运的是,通道尽头果然有一个稍大的观察窗口,角度正对着中心控制台!
汉斯几乎是扑了上去,整张脸紧紧贴在冰冷的观察窗玻璃上。
眼睛瞪得溜圆,死死盯住控制台上方那块巨大的主屏幕!
屏幕上,瀑布般的数据流飞速刷新。
汉斯的目光像雷达一样扫过那些参数:
光源波长:13.42 n(稳定)
光源输出功率:XXX kW
光源转化效率:31.8%(实时)
能量密度:XXX /c/p>
稳定性指标:< 0.005%(波动)
曝光晶圆累计:第XXX片(持续运行)
实测线宽:7.3 n(套刻精度< 2.0 n
“我的上帝啊!”
一生无法抑制的惊呼,猛地从汉斯喉咙里爆发出来!
他完全忘记了身处何地!
他用力揉搓着自己的眼睛,仿佛屏幕上的数据是恶魔制造的幻象!
他再看!
再看!
那恐怖的转化效率!
那稳定的13.5纳米以下波长!
那足以支撑7纳米量产的实测线宽!
这些数据每一项都像一记重锤,狠狠砸在他作为ASML技术总监的骄傲和认知上!
这怎么可能?!
这完全颠覆了现有光刻技术的物理和工程极限!
而且这也不是他们ASML的EUV技术路线!
这是……这是全新的、划时代的、足以彻底埋葬现有光刻体系的怪物!
他像一尊石化的雕像,眼神呆滞,嘴巴无意识地张开,大脑一片空白……
只剩下屏幕上那冰冷而恐怖的数据在疯狂旋转!
他亲眼看着那台机器流畅地运作,看着那束他无法理解的光源系统稳定地输出着毁灭性的能量!
就在这一分一秒的过程中,这位技术主管心中,只留下了敬畏与震撼。
可随之而来的,便是深深的恐惧。
他仿佛看到了ASML帝国大厦的根基,正在这遥远东方的实验室里,被这台简陋外壳包裹的怪物,一寸寸地瓦解!
这声失态的惊呼,在安静的核心区域如同平地惊雷!
超净间内,所有交谈瞬间停止!
魏天华、陈进一、严正行、戴维诺顿以及所有PCT专员、工程师……
所有人的目光如同探照灯般,齐刷刷地射向了汉斯藏身的那个观察窗口!
糟了!
当汉斯意识到麻烦时,已经无可挽回。
他看到魏天华脸上的血色唰地一下褪得干干净净,变得惨白!
对方眼中爆发出毫不掩饰的惶恐与惊怒!
那眼神,再没有一丝一毫先前在机房时的谦卑或虚心。
那是被触及逆鳞的狂暴!
“谁?!警报!拉响最高警报!!”
魏天华几乎是嘶吼出声。
令人心悸的最高级别入侵警报瞬间响彻整个核心区域!
走廊里红光疯狂闪烁!
沉重且密集的脚步声如同战鼓般从四面八方传来!
是那些全副武装的安保人员。
“快!保护现场!封锁所有数据!”
魏天华对着身边的工程师和PCT专员大吼。
随后和陈进一、严正行以及戴维诺顿一起,以最快速度冲向观察窗所在的位置!