第51节


    那束深邃的极紫外光持续稳定地输出着,为整个光刻系统提供着纯净的画笔!

    “开始曝光测试!”

    严正行没有沉浸在光源启动成功的狂喜中。

    指令连续下达。

    样机内部,精密的光学组件开始工作。

    那束凝聚的极紫外光被引导→分束→投射!

    承载着电路图案的掩模板被精准定位。

    下方,是一片预先处理好的硅晶圆。

    时间在紧张到近乎凝固的气氛中流逝。

    只有机器的低鸣、风扇的嗡响和仪器数据刷新的滴答声。

    所有人屏气凝神。

    终于。

    “曝光完成!传送至显影蚀刻单元!”

    又是一段漫长的等待。

    魏天华双手紧紧抓着控制台的栏杆,额间已冒出了冷汗,眼睛却一眨不眨地盯着处理单元的出口。

    当那片经过最终处理的硅晶圆被机械臂小心翼翼地取出,送入高倍电子显微镜下。

    控制室里只剩下粗重的呼吸声。

    巨大的屏幕上,高倍显微图像被清晰地投射出来。

    线条!

    无比清晰,间距极小的电路线条!

    图像旁边,测量软件自动标注出关键数据:

    线宽:7.2纳米!

    套刻精度:1.8纳米!

    “成了……真的成了……”

    魏天华喃喃自语,声音哽咽。

    他缓缓松开抓着栏杆的手,身体微微摇晃了一下。

    这位在半导体行业摸爬滚打了一辈子,看尽了白眼和封锁的老总,此刻再也控制不住。

    滚烫的泪水冲出眼眶,顺着他布满皱纹的脸颊滑落。

    技术壁垒此刻在这清晰的线条面前,被击得粉碎!

    四十年追赶的屈辱,无数次被卡脖子的绝望,无数个日夜的殚精竭虑……

    所有的情绪都化作了这两行滚烫的热泪。

    严正行挺直了腰板,那浓重的疲惫被瞬间驱散。

    他摘下护目镜,用力揉了揉布满血丝的眼睛。

    再戴上时,镜片后的目光锐利如鹰,充满了无与伦比的自豪。

    这是他的技术,在他的主导下,在这片土地上,实现了!

    这不再是图纸上的幻想,是实实在在的,可以触摸的成果!

    陈进一第一时间飞奔到了控制台前。

    那片小小的,承载着7.2纳米电路的晶圆被工作人员小心翼翼地封装好,递到他面前。

    他的双手颤抖得几乎捧不住那个小小的晶片盒。

    他屏住呼吸,如同捧着稀世珍宝,轻轻打开盒盖。

    里面,那枚指甲盖大小的硅晶片静静地躺在特制的衬垫上。