“这台设备，多重曝光做了几遍？”
那个人看了他一眼，然后笑了出来:“王总，你一眼就看得出来了。
四重！”
四重曝光，对干式193n刻机来说这是一个非常极限的工艺，已经是量产的极限……
至于实验室的六重曝光没有任何意义，良品率将会低到不具备生产意义的程度。
那纯粹是为了突破而突破！
而王建平则是惊讶地待在了那里，作为一个专业人士，不太清楚答案代表什么。
虽然四重曝光没有六重极限，但同样也是极限生产下
“四重？193n四重曝光做14n壳精度多少，你们太疯狂了。”
“叠加误差程度控制在2n内！”
王建平再一次瞪大了双眼，然后便紧紧地皱上了眉头。
“2n193的波长，四重曝光能做到2n你们把牛顿给挖出来了？”
毕竟以他的专业知识来看，这简直不符合物理规律。
很快他又想到了一个思路，然后他紧紧地抓住了那位工作人员:“你们用的什么对准方案？”
那个人没有回答，而是从旁边的文档夹上抽出了一份技术手册，翻到某一页递给王建平。
王建平接过后，目光扫过那一页的技术参数，然后停住了，他的手微微抖了一下。
“这个……这个是……”
“普通出厂的光刻机不带这个算法，这是传音科技自己研发的定制版本。。
不过您如果想要了解具体的算法细节，需要签署“保密协议”才能看。”
那个人温和地打断了他。
“但我可以告诉你一个公开数据：这台机器在传音的生产在线运转了60多天。
晶圆总产量超过1500
验收组的组长是您在京都大学的导师王志华教授。
他签字的报告，你可以随时查阅。”
王建国的嘴唇动了动，就目前华芯国际和传音科技的关系来说，那个保密协议不用想，就是一份跳槽协议……
最终他转过身又看了一眼光刻机。
机器的外身是白色的，上面印着“华国半导体国家基金”，还有一个醒目的编号NSE-CX14C【国家半导体装备系列，晨星14C】
他伸出手轻轻摸了摸那个编号，象是在摸一个新生儿的额头。
对华国来说，这台光刻机又何尝不是一个新生儿呢，只不过华星的这个新生儿长得有点快。
“我们等这台机器等了20年。”
他的声音很低，象是在自言自语，但他的心情……可是无比激动。
他缓缓地收回放在机身上的手，眼底的激动还没有完全平复，可谓是一步三回头……
突然间他晃了一下，呼吸却先一步稳了下来。
他转身看向旁边的工作人员，刚才还是不敢相信这个结果，但现在已经化成了无数的期盼与恳求，但骨子里的急切，还是藏不住的。
“我想再问一句实话，这台晨星14A，什么时候开始大规模量产供应？
什么价格？我们华星国际能不能签意向订单排上供货队列？”
对于王建国问的为什么直白，为什么卑微？
这还是因为之前华芯国际从外面放出小道消息说国产光刻机突破，企图为自己吸引流量……
结果第一台光刻机根本没有他们的事儿，甚至连询问订单也没有得到任何回复。
所以在他们面前，他不是华芯国际手握大权的王总，而是一个为自己错误买单的小王。
工作人员看他这个样子，眼睛里多出了几分叹息，早知如此，何必当初呢。
不过对于华芯国际，传音也没有那么大的仇视，给个教训就行了……
“王总，这台晨星14系列光刻机是国家半导体大基金牵头传音科技主导研发的量产型装备，供货清单本就是面向所有合规晶圆代工企业。
未来技术成熟后也会向全球合作伙伴开放。
不过首批还是面向全球，华芯国际作为国内的龙头企业，自然在优先供货名单里。”
工作人员的话音还没有落下，王建平刚想松下一口气，对方却突然话锋一转，说出了目前最困难的难题。
“只是目前有一个问题，首批量产专线的产能已经被全部锁死。
这台光刻机预计年产量是八台，目前全都被划归传音旗下的晶圆厂，用于22n成熟工艺量产，14n艺的进一步爬坡验证。
后续批量，产能需要一定的调整，大概需要18个月。