早上6点47分。
苏辰的眼睛在闹钟响起的前13秒自动睁开了。
这是军人留下的习惯——身体比闹钟更准。
他躺在行军床上没有动，盯著天花板看了大约五秒钟。
然后他坐了起来。
今天是11月19日。
250 drie首测日。
他穿上了白色的洁净服，戴上了防静电手套，走到洗手台前洗了脸。水很凉，凉得他的神经瞬间清醒了。
他看了一眼手机——依然是关机状態。从昨天系统联调完成后他就没有再开过机。
他不需要知道外面在发生什么。。
早上7点15分。
实验室的灯亮了。
沈志明第一个到。他比约定时间早了45分钟。
“苏总。“他看了一眼已经站在设备前检查参数的苏辰，轻轻打了个招呼。
“嗯。“苏辰头也没抬，“真空泵昨晚预抽了吗“
“预抽了。。“
“好。“
7点28分，李明到了。
7点35分，陈国栋到了。
7点41分，工艺工程师赵琳到了。
7点50分，所有人都到齐了。
一共七个人。
苏辰站在250 drie设备前，转身面对他的团队。
这台设备是他花了八个月时间设计、採购零件、组装调试的。设备的核心腔体是陈国栋和他的团队用六天六夜赶製出来的。。
校准程序是李明写的。。。
那个数字在笔记本上安静地等待了四个月零五天。
今天，它將被验证。
“各位，“苏辰的声音平静而清晰，“今天的流程大家已经过了三遍了，我不再重复。只说一点——“
他环顾了一圈，目光从每个人的脸上扫过。
“不管结果是什么，今天你们每一个人都可以为自己骄傲。250 drie腔体的设计、加工、装配、校准，在全世界范围內没有任何一个团队做过。我们是第一个。“
他停顿了一下。
“好了。开始吧。“
早上8点整。
首测正式开始。
第一步：最终真空度確认。。“
苏辰点头：“进入第二步。“
赵琳操作气体管路阀门，將刻蚀气体sf?和钝化气体c?f?分別充入储气罐。压力传感器的读数在控制面板上实时跳动。。。“
“进入第三步。“
第三步：等离子体点火测试。
这是整个流程中最关键的环节之一——250腔体的等离子体均匀性直接决定了刻蚀的质量。如果等离子体在腔体內的分布不均匀，刻蚀出来的侧壁角度就会偏离预测值。
李明在控制台上启动了等离子体电源。
“rf功率600w等离子体点火成功。“
控制面板上的光谱分析窗口显示出了等离子体的发射光谱——sf?的特徵峰清晰可见，分布均匀。。“
苏辰的表情没有变化。。
“进入第四步。正式刻蚀。“
第四步是整个流程中最漫长的环节——bosch工艺循环刻蚀。
sf?刻蚀硅c?f?钝化侧壁sf?再刻蚀c?f?再钝化——这个循环將重复数百次，每次循环大约需要12秒，总耗时预计在3个小时左右。
在这三个小时里，苏辰一直站在控制面板前，没有坐下，没有喝水，没有说一句多余的话。
他盯著屏幕上实时跳动的三组数据——
刻蚀深度。
侧壁角度。
腔体温度。
前两组数据在稳步推进，一切正常。
但第三组数据——腔体温度——在刻蚀进行到第47分钟的时候，开始出现了苏辰预料之中的变化。
“温度偏移开始了。“苏辰的声音很轻，但实验室里所有人都听到了。。
这就是热膨胀效应。。
现在，在250腔体上，同样的效应正在发生——只是程度更大。
“预补偿系统准备。“苏辰说。
“预补偿系统就绪。“赵琳回答。
“等刻蚀深度达到180微米时启动。“
“明白。“
时间一分一秒地过去。
刻蚀深度稳步推进：50微米80微米120微米150微米
到了上午10点17分，刻蚀深度达到了180微米。
“启动预补偿系统。“苏辰的声音依然平静。
赵琳按下了预补偿系统的启动按钮。