第一百五十三章 种子计划
    第190章 种子计划

    2020年11月7日,苏州。

    处理完轻甲事件后,苏辰按照原计划来到了苏州实验室。

    实验室位於苏州工业园区一栋不起眼的写字楼里,三层全包,500多平米。这是陈国栋在苏州搭建的drie验证平台,也是沈志明和四名前中微工程师的工作基地。

    苏辰到的时候,陈国栋和沈志明已经在等他了。

    “数据呢?“

    苏辰开门见山。

    沈志明递过来一叠列印出来的实验数据。这位四十岁出头的前中微工程师,做事风格极其严谨,所有数据都標註了时间、温度、气压等环境参数。

    “这是上个月的等离子体密度测试数据。“

    苏辰翻开数据,目光扫过那些密密麻麻的数字。。。等离子体密度达標。

    这些数据他之前就知道了。但沈志明说的“数据异常“在哪?

    “异常数据在第三组和第七组。“

    沈志明翻到了標註红色的两页。

    “在第三组实验中,我们发现等离子体密度在腔体中心区域出现。我们一开始以为是测量误差,但重复了三次实验后,这个峰值依然存在。“

    苏辰盯著那组数据,眉头微微皱起。

    “第七组呢?“

    “第七组更有意思。“沈志明的眼中闪过一丝兴奋,“我们在调整射频功率的时候,发现在某

    苏辰的眼睛猛地亮了。

    这个数字意味著什么——如果能稳定復现,那么dr

    “能稳定復现吗?“

    “目前还不能。“沈志明老实地回答,“我们只在第七组的特定条件下观察到了这个现象,后续重复实验中有时能復现有时不能。我怀疑和腔体內的气流场分布有关——在那个特定的功率窗口下,可能形成了某种有利於s?分解的等离子体涡流结构。“

    “如果是气流场的问题“苏辰沉思了片刻,然后走到白板前拿起了马克笔。

    “那就不只是功率的问题,而是腔体几何结构的问题。“

    他在白板上画了一个腔体的截面图:

    “我们现在的腔体是標准的圆柱形。如果在腔体侧壁增加一组导流槽——这里、这里、还有这里——“

    他快速画出了三个位置。

    “通过导流槽改变气流场的分布,人为地在腔体中心区域製造一个稳定的等离子体涡流——理论上就能让第七组的异常数据变成常態。“

    沈志明和陈国栋同时凑了过来。

    “苏总,你是说——修改腔体几何结构来匹配最优气流场?“

    “对。“苏辰放下马克笔,“而且这个思路还有一个额外的好处——如果我们能通过导流槽控制气流场,那腔体放大的问题也能同时解决。“

    陈国栋猛地抬头。

    腔体放大——这是他们目前面临的最大难题之一。

    实验室级別的小腔体已经验证成功了,但要做到工业级別的大腔体,最大的障碍就是气流场的均匀性问题。腔体越大,气流场越难控制,刻蚀均匀性就越差。

    但如果导流槽能解决气流场控制的问题——

    “那腔体放大就不再是单纯的等比放大了。“陈国栋兴奋地说,“而是通过导流槽的设计来主动控制气流场——这样就算腔体变大,只要导流槽的位置和角度计算正確,就能保持气流场的均匀性!“

    “没错。“苏辰点头,“所以接下来的任务是——沈工负责把第七组的条件参数整理出来,做一个完整的气流场仿真。国栋负责设计导流槽的几何方案。我回深圳后会在系统里做大量的仿真验证。“

    他看了看两人:

    “给我两周时间。

    “好!“

    两人齐声回答,眼中满是干劲。

    討论完drie的技术问题后,已经是下午三点了。

    苏辰、陈国栋和沈志明在实验室附近的一家麵馆吃了碗面。

    吃麵的时候,陈国栋突然说了一句:

    “苏总,上次你提到的传感器教育推广的事情,我想到了一个人。“

    苏辰夹面的筷子停了一下。

    “谁?“

    “清华大学微电子系的周志远教授。“

    陈国栋放下筷子,认真地说:

    “周教授是国內传感器领域的先驱之一,80年代就开始做的研究了。他现在虽然已经退休了,但在学术界的影响力非常大。全国至少有二十所大学的微电子专业教材里,有他编写或者参与编写的內容。“

    “关键是——“陈国栋加重了语气,“周教授一直在呼吁国內高校加强实践教学。他觉得目前高校的教育太偏理论,学生毕业后根本不会用——因为学校里没有实验设备,也没有配套的开发平台。“

    苏辰放

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