第四百六十七章 给星河装上眼睛
    高频脉冲电机的新版图已经重新开始流片。

    吕辰三人又忙着新一轮验证机的搭建。

    这天,刚刚从验证室回来,吕辰正处理一些其他单位的来信,办公室的门就被推开了。

    陈光远的秘书站在门口:“吕工,陈厂长请您去一趟,真空所的电镜到了,正在安装。”

    吕辰放下笔,站起来。

    电镜,终于来了。

    他跟着小周下楼,推着自行车出了研究所,一路来到6305厂,登记,放行。

    一路上能看见穿着蓝色工装的人在厂区里穿梭,有人推着平板车,车上码着纸箱,有人手里拿着文件夹,脚步匆匆。

    来到四号厂房,把车停好,进了门。

    换鞋,换衣服,穿过风淋室。

    走进车间的时候,里面已经站了一圈人。

    陈光远站在最前面,旁边是几个穿灰色中山装的人,文昭南教授和电子管厂的李总工都在。

    他们身前,是一台军绿色的机器。

    一米多高,两米来长,主体是一个粗大的圆柱形镜筒,表面布满各种接口和旋钮。

    镜筒下面是一个样品室,样品室旁边是控制台,控制台上密密麻麻的旋钮、开关、仪表,还有一台示波器。

    整台机器,像一头蹲着的金属野兽。

    “小吕来了。”陈光远看见他,招了招手。

    吕辰走过去,站在陈光远旁边。

    “文教授,李总工。”

    文昭南教授冲他点点头:“小吕好。”

    李总工看着那台电镜,语气里带着点自豪:“总算装起来了。在厂里调试了半个月,拉过来,又装了三天。今儿个早上才通上电。”

    吕辰问:“指标多少?”

    “300埃左右。”文昭南说,“看形貌够了,看细节还差点。”

    吕辰大喜:“300埃,0.03微米。对于现在5微米的工艺来说,这个分辨率,够用了。”

    他又问:“通电试过了?”

    “试过了。”李总工说,“图像能出来,稳定。就是……”

    他顿了顿,看了一眼文昭南。

    文昭南接过话:“就是我们对集成电路这行不太熟。这东西看材料、看金属断口都有大用。到了6305厂这儿,能看什么,得你们说了算。”

    陈光远点点头,然后看向吕辰:“吕工,叫你来,就是这个意思。咱们厂里五十多个专家教授,都是搞机械、搞化学、搞工艺、搞材料的。电镜这东西,谁都没正经用过。你给讲讲,这东西能在咱们这儿干什么。”

    吕辰走到那台电镜前面,伸手摸了摸镜筒,金属的触感冰凉而坚实。

    然后他转过身,看着那一圈人。

    陈光远,文昭南,李总工,还有6305厂的那些专家们。

    设计中心的,制造中心的,测试中心的,一张张熟悉的脸,此刻都看着他。

    “文教授,”他说,“能不能先随便找个样品,把图像调出来?咱们边看边说。”

    文昭南点点头,走到控制台前。

    李总工也从旁边拿过一个样品托,上面粘着一个小小的铜网,铜网上挂着一些粉末。

    “这是标样,先看看图像质量。”他把样品托放进样品室,关好门,开始抽真空。

    嗡嗡的声音响起来,是机械泵在工作。

    过了一会儿,文昭南看了看真空计,点点头:“好了。”

    他打开电子枪的高压开关,调节几个旋钮,示波器上开始出现一些波纹。

    然后他看向观察窗。

    吕辰凑过去。

    观察窗里,是一幅灰白色的图像。

    放大,调焦,再放大,再调焦。

    慢慢的,图像清晰起来。

    那是一群不规则的颗粒,有的圆,有的尖,大大小小地堆在一起。

    “这是氧化镁粉末。”李总工在旁边说,“常用的标样。”

    吕辰看了一会儿,然后退开。

    “陈厂长,能不能拿个芯片来?”他问。

    陈光远朝旁边的人点了点头,不一会儿,有人拿过来一个陶瓷封装的芯片。

    “这是HX-2的测试片,”那人说,“流片的时候有些缺陷,淘汰下来的。”

    吕辰接过芯片,看了看。

    黑色的陶瓷基底,两排引脚,表面印着白色的字。

    他把芯片递给文教授:“教授,请您用酸煮。把封装煮开,把晶圆露出来。”

    文昭南愣了一下:“现在?”

    “现在。”吕辰说,“咱们今天,就给它验验尸。”

    陈光远招呼一个工作人员拿来发烟硝酸。

    文昭南把芯片放进烧杯里,倒上硝酸,下面点上酒精灯。

本章未完,请点击下一页继续阅读>>