秦世襄眼睛一亮：“你说说看。”
吕辰拿起一支笔，在纸上画了一个简单的示意图。
“这是光刻机的工作台。现在的驱动方式是电机带动丝杠，丝杠推动工作台。这个方式的精度，取决于电机的转速控制、丝杠的加工精度，还有传动过程中的间隙。”
“我的想法是，用石英晶体技术把这个电机升级一下。”
秦世襄愣了一下：“石英晶体？你继续说。”
吕辰点点头：“石英晶体的核心特性，是压电效应，给它施加电场，它会产生极其稳定的机械振动。这个振动的频率，取决于晶体的切割角度和厚度。”
秦世襄点点头：“有想法，石英晶体的每一次振动，都可以看作是一个精确的‘步进’。如果能把这个振动转换成机械位移，那理论上，晶体的每一次振动，都对应着工作台移动一个微小的距离。你是想用石英晶体产生的高频信号，来控制一个电机？”
郑长枫问道：“那本质是还是一个电机啊，和低速电机有什么区别？”
吕辰道：”郑老师，那如果我们做一台磁浮的电机呢。”
郑长枫追问道：“磁浮？”
吕辰点点头：“对，磁浮。让工作台悬浮在电磁场里，没有任何机械接触，也就没有摩擦，没有磨损，没有振动。然后用石英晶体产生的精确脉冲，来控制电磁场的变化，一步一步地推动工作台前进。”
他拿起笔，在纸上画了一个更复杂的图。
“这是一个初步的构想。核心部分，是一个用石英晶体控制的脉冲发生器。晶体的每一次振动，都产生一个精确的脉冲。这个脉冲被放大后，送到电磁线圈，产生一个变化的磁场。工作台上嵌有永磁体，这个变化的磁场，就会推动工作台移动一个微小的步距。”
“步距能做到多小？”秦世襄问。
吕辰想了想：“理论上，如果晶体频率足够高，磁路设计足够精密，可以达到纳米级。”
刘建国倒吸一口气：“纳米级？那比微米还小一千倍？”
吕辰点点头。
秦世襄沉默了几秒，然后开口：“吕辰，你这个想法，很大胆。但有几个问题，得想清楚。”
他拿起笔，在吕辰画的图上点了几处。
“第一，磁浮。要让工作台悬浮起来，需要精确控制电磁场。工作台本身的重量，加上上面要承载的东西，起码几十斤。要让它稳稳地悬浮，还要能在水平方向上精确移动，这对电磁场的设计要求极高。”
吕辰点点头：“秦教授说得对。磁浮技术本身，就是一个大课题。”
秦世襄继续说：“第二，高频。你刚才说，用石英晶体产生高频脉冲。晶体的频率确实可以很高，但问题是，这么高的频率，电路能不能跟得上？电流切换那么快，会产生电磁干扰，还会产生涡流损耗，线圈会发热。发热就会导致参数变化，精度就没了。”
郑长枫在旁边接话：“而且，你们的‘掐丝珐琅’电路板，用在工频或者低频控制上没问题。但这么高的频率，电路板本身的分布参数，寄生电容、寄生电感，会变得非常显着，信号可能会畸变得一塌糊涂。”
吕辰说：“郑老师，这个问题我想过。如果现有的电路板不行，那就得研发新的，适用于高频的电路板。”
郑长枫点点头。
刘建国开口了：“吕工，你说的这个闭环控制，怎么实现？”
吕辰说：“刘工问得好。开环控制是不够的，因为负载变化、温度漂移，都会影响实际位移。必须引入实时的位置反馈。”
他在图上加了一个反馈回路。
“可以用光栅尺，或者激光干涉仪，实时监测工作台的实际位置。把这个位置数据送回到控制器，和晶体发出的理想脉冲进行比对。如果发现偏差，控制器就调整输出，修正误差。这就是全闭环伺服控制。”
刘建国若有所思：“光栅尺……激光干涉……这些技术，精度没这么高。”
吕辰说：“刘工，你们的微波探伤技术，其实也可以用来做位置反馈。微波的波长很短，如果能做出一个微波干涉仪，精度可能比激光还高。”
刘建国眼睛一亮，想了想，又皱起眉头：“但微波设备体积大，功耗高，装在这么小的系统里，怕是够呛。”
吕辰说：“可以先从光栅尺开始。等微波技术成熟了，再换也不迟。”
秦世襄放下笔，看着吕辰画的图，沉默了好一会儿。
然后他抬起头，说：“吕辰，你这个想法，技术上可行，但难度极大。磁浮、高频、闭环控制、新材料、新工艺……每一个环节，都是硬骨头。”
吕辰说：“我知道。但如果不啃这些硬骨头，光刻机的精度就永