”吕辰先开口,“想必我们的来意你们也清楚了。‘星河计划’的目标是发展中国自主的集成电路产业。芯片制造需要高纯度的金属靶材,比如金、铝、钛,用于薄膜沉积。也需要高精度的镀膜工艺和监测技术,还需要特种材料的精密加工能力。”
周工点头:“我们清楚集成电路对材料纯度、工艺精度、环境控制的极端要求。不瞒你们说,从去年‘星河计划’立项的消息传出来,我们就在想,实验室的这些技术,能不能在芯片领域找到用武之地。”
胡教授接过话头:“那个卫星天线反射面板的镀金工艺,是我们当前能达到的微米级精度加工、测量、控制技术的集中体现。
他顿了顿:“现在看来,技术原理上是相通的,但需要针对芯片制造的特点进行适配和优化。”
“这正是我们需要合作的领域。”吕辰诚恳地说,“红星所在自动化控制、传感器技术、抗干扰设计方面有些积累。我们可以提供脉冲电机和数字控制系统,升级你们的定位工作台。也可以协助优化镀膜机的监测系统,提高其稳定性和抗干扰能力。”
吴国华补充:“我们还在和兰州大学合作,研究放射性同位素示踪技术。如果用在你们的材料提纯工艺上,可以可视化杂质分布,优化熔炼参数,把纯度从五个九提升到六个九,甚至更高。”
钱兰翻开笔记本:“还有环境控制。芯片制造需要超净车间,恒温恒湿,防震。你们在镀膜车间已经建立了基础的环境控制体系,我们可以把在轧钢厂自动化项目中积累的环境控制经验分享过来,共同制定更高标准。”
“这样,”周工说,“我们拟一个合作备忘录,明确几个方向。”
双方经过商量,最终定下高纯度金属靶材研制、精密镀膜工艺开发、特种加工设备升级、环境控制标准制定、人才联合培养、前瞻技术预研六个方向的合作备忘录。
五人依次签名,一纸简单的备忘录,没有华丽的辞藻,没有繁复的格式,只有五个人对技术报国的郑重承诺。