第二百九十一章 强大的真空所
,数据密密麻麻。

    最引人注目的,是站在装置前的一位老师傅。

    他约莫五十岁,身材瘦削,穿着深蓝色的工装,袖口挽起,露出布满烫伤和酸蚀痕迹的手臂。

    他戴着一副用胶布粘着镜腿的老花镜,正俯身观察真空计的水银柱,手指轻轻调节着一个针阀。

    他的动作极其缓慢、极其轻柔,仿佛不是在操作机器,而是在雕琢一件易碎的艺术品。

    “刘师傅正在做一批氮化硅样品。”顾赟低声介绍,“今天运气好,正好赶上完整的工艺过程。”

    几人安静地站在一旁观察。

    刘师傅先检查了基片,那是几片一寸见方的玻璃片,已经经过严格的清洗,在灯光下晶莹剔透。

    他用特制的镊子将基片放入钟罩内的样品架上,动作很稳。

    然后按下启动按钮,真空泵的轰鸣声陡然增大。

    刘师傅盯着热偶真空计,水银柱开始缓慢下降。

    这个过程持续了将近二十分钟,期间刘师傅不时用改锥轻轻敲击管道的某些部位,侧耳倾听,像是在诊断病人的心跳。

    “他在查漏。”文昭南教授低声解释,“微漏是真空系统的大敌。我们没能力买进口的氦质谱检漏仪,就用土办法,有时候用酒精涂抹可疑部位,看真空度变化;有时候充入氢气,用自制探测器找漏点。”

    终于,真空度达到了要求,大约10??托。

    接下来是预热。

    刘师傅接通加热电源,缠绕在石墨坩埚上的电阻丝开始泛红,温度逐渐升高。

    测温靠的是插入坩埚侧壁的一根老旧热电偶,连接的毫伏表指针缓缓偏转。

    “温度控制是个大难题。”顾赟苦笑道,“加热丝是我们自己绕的,温场不均匀;热电偶的精度有限;控温电路就是简单的调压器。

    吕辰看着墙上的温度曲线图,那上面用不同颜色的铅笔标注着多次实验的数据,曲线起伏如心电图。

    每一次成功的沉积,背后都是数十次失败的摸索。

    温度稳定后,真正的“魔法”开始了。

    刘师傅缓慢地打开两个钢瓶阀门,一个是氨气,一个是氯硅烷,也就是Sih?与cl?的混合物。

    气体通过手工打磨的针阀,进入管道。

    没有质量流量控制器,没有比例阀。

    流量控制,靠的是观察玻璃转子流量计里那个小浮子的位置。

    浮子在玻璃管中上下浮动,刘师傅要根据浮子的高度,“估算”出气体的流量比例。

    “氨气……大概每分钟150毫升。”他低声自语,手指微调阀门,“氯硅烷……30毫升。比例5:1。”

    他的眼睛紧紧盯着两个流量计,整个实验室鸦雀无声,只有真空泵的低鸣和电流流过加热丝的轻微嗡嗡声。

    气体进入钟罩,在高温的基片表面发生化学反应。

    微观世界里,氨气与氯硅烷分子分解、重组,氮原子与硅原子结合,生成氮化硅,一层原子一层原子地“生长”在玻璃表面。

    这个过程肉眼看不见,但刘师傅仿佛能“感觉”到。

    他不时调节冷却水的流速,那根滴水的橡胶管连着铁桶里的水泵,水流快慢会影响钟罩内的温度分布。

    他还不时用改锥轻敲某段管道,这是靠听声音来判断气流是否顺畅。

    他嘴里念念有词,像是在进行某种仪式:“这回的‘火候’差不多了……左边温度好像高了点……”

    整整四十分钟,沉积过程在一种高度紧张而又充满艺术感的氛围中进行。

    终于,他关闭了气体阀门,停止加热,让系统自然冷却。

    又过了二十分钟,他才小心翼翼地打开放气阀,让空气缓缓进入钟罩。

    气压平衡后,他松开密封夹具,用液压装置缓缓升起玻璃钟罩。

    钟罩内的景象展现在众人面前。

    样品架上,那几片玻璃基片看上去依然透明。

    但若对着灯光仔细观察,能看到表面覆盖着一层极薄的、略带虹彩的薄膜,像肥皂泡的色彩,又像雨后的油膜。

    “成功了。”刘师傅长舒一口气,脸上露出一丝疲惫的笑容,额头上沁出了细密的汗珠。

    他用特制镊子取出基片,放在铺着软布的木托盘里,端到旁边的工作台上。

    接下来是检测,又是一系列“土法上马”的智慧。

    膜厚测量用的是自制的椭圆偏振仪原型。

    核心光学部件是从旧显微镜上拆下来的棱镜和透镜,装在一个手工打磨的铝制支架上。

    光源是一盏经过滤光的钠灯,发出单色黄光。

    研究员将样品放在平台上,调整角度,透过目镜观察干涉条纹

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