格歪歪扭扭。

    “平均偏移3微米，最大8微米。”王工叹气，“这个误差对集成电路是致命的。”

    陈光远总结：“工作台定位重复精度不够；温度变化导致热胀冷缩；振动干扰……很多问题理论上知道解决方案，但实际做起来，要材料、要工艺、要设备，更要时间和经验。”

    实验室安静下来，只有原型机内部隐约的风扇声和水冷机运行声。

    这是中国第一代光刻机雏形，粗糙、不稳定、精度有限，但它代表一种方向，一种从无到有的突破。