试运行暴露的问题也在同一天下午浮出水面。调度引擎在下午三点的批量排产中做出了一个让操作员感到困惑的决策——它将一台刚刚完成预防性维护的离子注入机标记为“不可用”,理由是天枢OS读取到该设备的真空腔体在维护后重新抽真空的过程中,真空度恢复曲线比标准曲线慢了约百分之八。这个偏差在设备的控制面板上并没有触发任何报警——百分之八在设备供应商设置的报警阈值之内。但调度引擎根据历史数据学习到的规律是:真空度恢复曲线偏慢百分之八以上的设备,在接下来两小时内出现注入剂量波动的概率会增加三倍。
“这个决策对不对?”操作员问老韩。
老韩让操作员按调度引擎的建议停了那台离子注入机,把批量转到备用设备上。然后他让设备工程团队对那台离子注入机做了一次彻底的真空腔体检漏。检漏结果在四十分钟后出来了——真空腔体的一个密封圈在预防性维护时没有完全复位,存在微小的泄漏,泄漏量只有标准值的百分之六,在任何常规报警系统的阈值之下。
老韩把检漏报告拍在梁志远的桌上。“天枢OS的调度引擎不只是在做排产——它是在用全量数据做设备健康的预测性诊断。真空度恢复曲线的百分之八偏移,人的眼睛看不出来,设备自检程序检不出来,但天枢OS把过去六个月每一台离子注入机每一次维护后的真空恢复曲线都存下来了,它知道‘正常’应该是什么样。”
梁志远把检漏报告转发给郑工,附了一句话:“预测性维护模型——从调度引擎中独立出来,做成天枢OS产线管理系统的第二个智能化模块。目标是在设备实际发生故障前四到八小时预警,把非计划停机压缩百分之三十。”
郑工在收到消息后把预测性维护模块的开发任务添加了天枢OS的迭代计划,同时在团队内部分享了一个更长远的设想:“产线调度引擎和预测性维护模块是智能化改造的前两步。第三步是把天枢OS的调度能力从一座工厂扩展到整个合城产业园——四座追光产线共享同一个智能调度平台,产线之间的设备负载可以动态调配,晶圆可以在不同产线之间根据实时设备状态分流。这个目标实现后,合城产业园的整体设备综合效率有机会从目前加权平均的百分之八十二提升到百分之八十八以上。”
他把这个设想画成了一张拓扑图,图上四座追光产线的设备节点用不同颜色的圆点标注,天枢OS的调度引擎位于拓扑图的正中心,用实线连接着每一台设备。图的右上角用虚线标注了两个待接入的节点——恒芯集成的封装试产线和合工热工的热处理设备。郑工在图下写了一行字:“产能运营的智能化改造不止于追光产线。封装环节和热处理环节是天权6号量产的两道外部关口。如果天枢OS的调度能力不能延伸到这两道关口,追光产线内部的效率再高也会在产业链交界处失速。”
这个设想和梁志远正在推进的一件事不谋而合。恒芯集成的封装试产线在关闭十一项差距后,硅通孔间距已经稳定推到了六点五微米,仍在向六微米逼近。但恒芯的产线排产目前全靠孟总和几个班组长手动协调,效率低且容错能力差。孟总在封装国产化试点推进会上两次提到希望能接入天枢OS的产线管理系统,“哪怕只接入数据采集模块也行”。梁志远把孟总的须求和郑工的设想放在一起,向章宸提交了一份扩容方案:天枢OS产线管理系统的下一期扩容复盖恒芯集成封装试产线和合工热工的热处理产线,将未来科技内部产能运营的智能化改造向产业链上下游延伸。
章宸批准了扩容方案,同时提出一个要求:“天枢OS向恒芯和合工热工开放接口时,沿用陈醒在天罡Edge全球合作试验决策会上定下的原则——接口按三级安全分级开放,数据采集层一级、工艺参数共享层二级、调度控制层三级。恒芯目前开放到二级,调度控制层暂不接入,等封装试产线的工艺参数完全稳定后再评估。”
梁志远把天枢OS扩容方案转给孟总时,附带了一份数据安全协议草案。孟总看完后没有还价,直接在协议上签了字。签字时他说了一句话:“你们来驻厂解决了设备振动,带来了国产固化炉,现在又把产线管理系统接进来。恒芯和未来科技的关系已经不是客户和供应商了——是同一座产线。”
老韩在当天晚上把智能化改造的阶段性成果汇总成一份简报,标题是“合城产能运营智能化改造——第四周进展”。简报的最后一页是一张对比表:追光四期设备综合效率从改造前的百分之七十六提升到试运行阶段的百分之八十一点五,目标值是百分之八十五;非计划停机时间下降了百分之十八,目标值是百分之三十;晶圆缓冲区平均等待时间下降了百分之二十二,目标值是百分之三十五。每一项指标后面的“目标值”一栏里,老韩都标注了一个预计达成时间——八周。