“前两个问题可以放行，第三个等复检结果。”梁志远在试产流程追踪表上写下最终检测环节的备注，然后抬头看了一眼洁净信道尽头的时钟。从第一批晶圆进入刻蚀工序到现在，正好过去了四小时零五分钟。国产替代设备的全线贯通速度比预计快了二十分钟——这二十分钟来自在线检测自动化站台的高通量检测能力，联合开发定制的检测算法对追光四期晶圆的工艺特征有高度适配性，不需要象进口设备那样做反复的参数补偿调优。
追光四期的国产化试产节点，在梁志远的计划里不止是一次技术验证。他让厂务团队在每道工序的关键工位旁加装了高清摄象设备，从刻蚀到检测的全流程都被实时记录下来。每一道工序的工艺参数——气体流量、反应腔压力、射频功率、注入剂量、抛光速率——全部自动采集并存入天枢OS产线管理系统的数据库，时间戳精确到毫秒级。这些数据和天罡Edge医疗版的临床数据、恒信科技检测设备的对比数据一样，将成为欧罗巴联合检测验证工作组关于“供应链轫性”维度的内核佐证材料。
陈醒在策略会上定下的那句话被梁志远打印出来贴在了追光四期中控室的墙上：“不是让别人相信我们说的话，而是让别人不需要相信我们——因为他们可以自己验证。”国产化试产的全程数据记录，就是给那些需要自己验证的人准备的。
第三个疑似缺陷点的复检结果在四十分钟后出来了。扫描电镜成像显示，离子注入局域的掺杂浓度异常是一处掩膜版边缘效应导致的局部偏差，面积不到零点五平方微米，对芯片整体电性能的影响在仿真模型中可以忽略。丁勇在复检报告上签了字，结论是“工艺容忍范围内，可放行”。
梁志远把最终检测结果填入试产流程追踪表的最后一个格子，然后拿起终端给陈醒、章宸和林薇同时发了一条消息：“追光四期首批全国产替代零部件晶圆试产完成，全部工序通过在线检测，良率待统计，预计四十八小时内完成全部电性测试和老化测试。全程工艺参数记录已存入天枢OS产线管理系统，可随时调取。”
消息发出后不到三分钟，林薇从中央研究院回了电话。她没有祝贺，而是直接问了一个技术问题：“国产离子注入机的注入剂量均匀性在片内分布如何？天权6号的羲和架构对阈值电压的片内均匀性比天权4号敏感一个数量级，如果离子注入的片内均匀性有系统性偏差，天权6号的流片代工就需要重新评估工艺匹配度。”
梁志远把国产离子注入机在过去六个月并行验证中积累的片内均匀性数据调出来，和林薇逐项比对。片内注入剂量的标准偏差在百分之零点八以内，片间重复性偏差在百分之一点二以内，均在天权4号工艺设计套件的规格范围内。但天权6号目标工艺节点对注入均匀性的要求比天权4号严苛至少一倍，国产离子注入机目前的数据还不足以支撑天权6号的流片代工须求。
“所以追光五期那两台国产离子注入机能不能接天权6号的代工单，要看供应商在未来八个月内能不能把片内均匀性再提升一倍。”林薇在电话那头飞快地算了一组数据，“如果提升达不到，天权6号的流片就只能走境外代工信道。但实体清单随时可能落地，境外代工信道一旦被切断——”
“天权6号就没有代工选项了。”梁志远替她把话说完了。
这个结论让电话两端都沉默了几秒。追光四期的国产化试产节点刚刚成功，但成功的是天权4号这一代芯片的制造自主性。天权6号站在更先进的工艺节点上，对设备和耗材的要求比天权4号高了整整一个台阶。国产替代的速度在加快，但能不能赶在实体清单落地之前追上天权6号流片须求的工艺节点，仍然是一个未知数。
梁志远挂断电话后，在试产流程追踪表的背面写了一份简短的待办清单。第一项：国产离子注入机片内均匀性提升验证，排期与天权6号流片倒计时对齐，目标八个月内达到天权6号工艺规格。第二项：国产离子源灯丝在追光四期产在线的首轮注入剂量均匀性专项验证，排期两周内完成。第三项：化学机械抛光液国产替代中试样品在追光四期的首轮并行验证，排期三个月内激活。
他把待办清单拍照发给了老韩和郭工，同时抄送苏黛——抛光液中试放大的预算需要从产业扶持基金第二批资助中协调一部分，国内那家化工大学的课题组已经完成了实验室级的小试，但中试放大需要的超净环境和分析仪器投入远超出高校课题组的经费承载能力。苏黛在三分钟前刚批准了产业扶持基金第二批的三千万元前置拨付，看完梁志远的消息后追加了一条批注：“抛光液中试放大经费从产业链弹性预算中另行列