第三百零七章 追光三期EUV整机装配完成
    一整排顶部冷白工作灯从数十迈克尔的桁架顶端垂落下来,把那台被多层围挡与气密隔区包裹的庞然设备照得纤毫毕现。不同于终端产线那种高速流转、节拍鲜明的忙碌,这里的时间像被人为压慢了。没有人高声说话,没有人随意走动,连工具车在导轨上滑行时都被包上了消音层,只剩极细微的滚轮摩擦声在偌大的空间里缓慢回响。

    主控屏右上方,状态条一

    而现在,这句话下面又多出一行刚刚刷新的黄色提示:

    高能段联调确认完成,等待总指挥权限确认

    林薇站在气密门内,没有第一时间往前走。

    她先看的是整张图。

    不是屏幕上的参数图,而是设备本体。

    那是一种只有真正长期做过整机秩序的人才会有的本能。先看整体呼吸感,再看局部数据。先看这台设备象不象一个能真正“活起来”的整体,再去判断它究竟还剩哪根神经末梢没有接好。

    追光三期比一代、二代都更大,也更安静。

    安静得甚至不象一台处在最终总装阶段的极限设备,反而象一头趴伏在冷白光下、尚未完全睁眼的巨兽。高精度主腔、光源接口、振动隔离底座、真空通路、控制柜数组、流体冷却总成、检测反馈系统,被压在同一套秩序里,没有一处多馀外露,也没有一处显得仓促补丁化。

    可正因为它看起来太象一个整体,林薇才更清楚,最危险的问题往往就藏在最后那一层“看起来已经完整”的平静里。

    总装负责人快步走到她身边,把权限板递过来,声音压得很低。

    “主腔体机械闭环已经完成,隔振底座和主控耦合也完成了,主光路静态对位误差压到目标窗口内。刚才那轮高能段联调,整体波动比二期末段好。”

    林薇接过权限板,没有立刻点确认,只问了一句:“哪个参数不对劲?”

    负责人顿了一下。

    “不是明显越线。”他说,“是寿命模型回归曲线有一段不够好看。”

    旁边几名负责分区联调的骨干没接话,但表情都明显紧了一丝。

    林薇却没有追着这件事立刻问下去,只点了点头:“先把今天该完成的完成。”

    这就是她的风格。

    在最关键的整机节点上,不会因为一个尚未坐实的问题,让全队的节奏先乱掉。但她既然听见了,就不会真把那句“不够好看”当成一句可以轻轻放过的工程抱怨。

    她迈步往总控台走去。

    沿途,装配区内所有人都自动让开一条线,没有人刻意看她,却几乎所有视线都在馀光里追着她的方向。因为谁都知道,今天不是普通节点,甚至不是普通意义上的“设备总装完成”。

    追光三期如果真的走到整机装配完成,就意味着未来科技在EUV设备这条最硬、最深、最容易被旧秩序永远卡死的骨在线,再往前迈了一大步。它未必意味着明天就能横扫一切问题,也绝不意味着可以立刻高调宣布希么,但它至少说明一件事——未来科技已经不再只是在理论突破、部件拼接和局部验证里打转,而是在把整机这件事一点点压成现实。

    这就是分量。

    主控台前,几块分屏正同步滚动。

    左侧是主腔真空保持曲线;

    中间是高能段联调后的稳定窗口;

    右侧是整机振动、温控与反馈回路的耦合状态;

    最下方,则是一条缓慢向前推进的总装完成度进度条。

    旁边一名系统工程师看见林薇过来,低声汇报:“剩下的是最终权限确认、整机联锁校验和记录封板。如果今天通过,追光三期就正式从‘分段装配状态’切入‘整机完成状态’。”

    林薇点了一下头。

    她没有先坐下,而是看了一眼全场分区的状态灯。

    绿色居多,几处仍是蓝色等待,一处光源接口分区刚从黄色跳回绿色,显示那轮联调后的复核已经结束。整张装配区的颜色很稳,没有那种临门一脚时常见的杂乱闪铄。

    她这才抬手,接入最高权限。

    主控屏识别后,所有子系统同时弹出确认窗口。最上方一行字被放大:

    是否执行追光三期整机总装最终联锁校验?

    厂房里更静了。

    很多人都在等这个动作。不是因为它有多戏剧化,而是因为当一个如此复杂、如此敏感、如此容易在最后一步出意外的系统,真正走到“最终联锁校验”这一步时,所有参与过的人都会明白,接下来按下去的不是一个按钮,而是一整段漫长攻坚能不能暂时收口的确认。

    林薇没有任何多馀停顿。

    “执行。”

    两个字落下,权限确认完成。

    下一秒,整机联锁程序开始自动跑起。主控屏上,几十项关键子模块状态开始一项项由蓝转绿,速度并不快,甚至有意被拉得很平稳

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