曾经为“曙光一号”突破而欢呼的激情,已沉淀为日复一日、枯燥而严谨的良率爬升攻坚战。”大规模量产和“天河计划”
主厂房的内核局域,气氛比之前攻克光刻胶时更加凝重。
巨大的数据看板上,实时跳动着各项工艺参数和良率数据,曲线如同心跳般起伏,牵动着每一个人的神经。
林薇坐镇中央指挥台,眼下有着淡淡的阴影,但眼神依旧锐利,紧盯着屏幕上每一个细微的波动。
“林总,等离子体增强化学气相沉积工序的膜厚均匀性波动超过了控制上限,影响了后续光刻的对准精度。”
一位工艺工程师紧急汇报。
“立刻调整反应腔体的气体流量和温度梯度参数,激活备用腔体,确保生产连续性。质量部,跟踪前后三批晶圆的数据,评估影响范围。”
林薇的声音冷静而迅速,下达着指令。
在她身边,金秉洙博士正对着一组复杂的缺陷分布图沉思。
“看这里,边缘局域的缺陷密度明显高于中心局域。”
他指着屏幕对梁志远说,
“这不单单是光刻胶的问题了,可能涉及到刻蚀工序的负载效应,以及化学机械抛光(CMP)的全局平整度。我们需要创建一个跨模块的联合调试小组,从系统层面优化,而不是每个工序各自为战。”
梁志远深以为然:
“我立刻组织刻蚀和CMP的负责人开会。另外,我们自研的‘曙光二号’光刻胶,在缺陷控制上虽然稳定,但曝光宽容度相比进口产品还是偏窄,对光刻机的稳定性提出了更高要求。‘钥匙小组’的压力很大。”
正如梁志远所言,“钥匙小组”的工程师们正二十四小时轮班,守护着那些“娇贵”的光刻机。
没有原厂技术支持,每一次微小的故障都可能引发产线的连锁反应。
一位资深工程师甚至打趣道,他们现在对这几台阿斯莫光刻机的“脾气”了解,恐怕比阿斯莫自己的某些工程师还要透彻。
“虚拟量测和先进工艺控制系统必须尽快上线。”
林薇在每日的攻坚例会上强调,
“我们不能等到晶圆走完全部工序才知道好坏。要通过在线检测数据,实时预测并调整工艺参数,将缺陷扼杀在萌芽状态。赵静,你们的AI模型优化得怎么样了?”
通过加密视频参会的赵静立刻回应:
“‘小芯’工业AI的预测模型已经迭代到第5版,对CMP后。但我们还需要产线提供更多、更高质量的闭环数据来训练模型,尤其是缺陷分类和根因分析的数据。”
“数据会给到你。”
林薇斩钉截铁,
“从现在起,所有异常批量,必须进行彻查,创建完整的‘病历文档’。我们要用数据驱动,代替过去的经验驱动。”
攻坚在无数个细节的打磨中推进。。每一次微小的进步,都凝聚着整个团队的心血。
车间里,咖啡和功能饮料的消耗量达到了顶峰,很多人以厂为家,休息室的行军床上总是躺满了和衣而卧的工程师。
陈醒虽然坐镇深城总部,协调着“天河计划”的全球资源,但心始终系在合城。
他每天都会与林薇进行加密通话,了解最新进展,但他从不催促,只是不断地调动一切可能的后勤和资源支持,确保攻坚团队没有后顾之忧。
他知道,这场战役,考验的不仅是技术,更是耐心和意志。
转机出现在一次跨部门的“头脑风暴”会上。一位来自封装测试部门的年轻工程师,在听取了前道制程的良率瓶颈后,提出了一个看似异想天开的想法:
“我们能不能借鉴一点Chiplet的思路?既然整颗芯片的良率受限于最薄弱的那个晶体管,我们能不能在芯片设计时,就添加一些冗馀电路和自修复机制?在测试环节,将那些有微小缺陷的内核单元自动屏蔽,启用备用的单元?虽然会牺牲一点点芯片的极限性能,但或许能大幅提升最终可用的芯片数量?”
这个“设计换良率”的思路,让在场的章宸博士眼睛一亮。他立刻通过视频接入会议:
“这个想法很有价值!这不完全是Chiplet,但思想是相通的,通过系统级的协同设计,来弥补单一制造环节的不足。我可以立刻组织架构团队,评估为‘天权4号’添加此类功能的可行性和性能代价!”
林薇和金秉洙也意识到了其中的潜力。
虽然修改设计意味着时间和成本的增加,但在制造良率遇到瓶颈时,这或许是一条可行的捷径。
她当机立断:
“志远,你配合章博士团队,立刻进行可行性评估和仿真。如果可行,我们优先为‘天河计划’的基