未来科技合城产业园内,那几台耗费巨资引进的阿斯莫NXT:1980Di光刻机,虽然还能运转,却已成了信息孤岛。
屏幕上偶尔弹出的“无法连接至服务中心”的红色警告,提醒着所有人,这些精密复杂的巨兽一旦出现任何超出当前工程师处理能力的问题,就可能彻底瘫痪,成为一堆昂贵的废铁。
“追光计划”的激活,已不再是战略选项,而是生存下去的背水一战。
产业园深处,一栋新挂上“追光项目部”牌子的独立大楼里,气氛凝重而肃穆。
这里安保等级被提到了最高,进出需要经过三重权限验证。
最大的会议室被改成了作战指挥中心,墙上不再是市场图表,而是挂满了一张张复杂到令人眼晕的光刻机系统分解图、光学路径图、以及全球范围内公开和半公开的关于光刻技术的论文摘要。
陈醒、林薇、李明哲、张京京,以及从华科院、清北大学精密仪器系抽调来的顶尖专家齐聚一堂。
没有慷慨激昂的动员,每个人的脸上都写满了沉甸甸的责任和破釜沉舟的决心。
“情况大家都清楚了。”
陈醒的声音在寂静的会议室里回荡,他指着墙上那张最大的光刻机总体结构图,
“阿斯莫给我们断了粮,停了药。我们现在要做的,就是靠自己,把这头‘工业巨兽’从里到外吃透,然后,造出我们自己的!‘追光计划’没有退路,只能成功,不能失败!”
张京京博士走到台前,他手中拿着一份厚厚的技术路线图草案。
“阿斯莫的机器是集全球顶尖技术之大成,我们正面强攻,短时间内绝无可能复制。所以,我们的策略是:分解、吸收、迂回、突破。”
他详细阐述了“追光计划”的四步走战略:
第一,逆向工程与知识萃取。 成立数个专项小组,针对光刻机的内核子系统:光源系统、光学系统、精密工件台、以及量测与控制系统,进行彻底的原理分析和关键技术拆解。
“我们不是要原样仿造,那会陷入专利陷阱,也永远跟不上他们的迭代速度。”
张京京强调,
“我们的目标是,通过拆解研究,彻底理解其底层物理原理、材料特性和工程设计逻辑,创建我们自己的知识体系和技术数据库。尤其是,”
他顿了顿,目光扫过几位来自高校的理论物理专家,
“在光源和光学领域,我们要探索不同于阿斯莫技术路径的可能性。”
第二,全国协同攻关。 未来科技作为牵头单位和须求方,负责总体集成、部分关键子系统的研发,以及提供充足的资金和工程化验证平台。
而光源部分,由华科院光学精密机械研究所主导;物镜和精密光学加工,由清北大学和国内最大的光学企业华光所联合攻关;双工作台的超精密运动控制,则交给了在数控领域有深厚积累的沪上电气集团。
“这将是一场大会战。”
李明哲补充道,
“我们已经将阿斯莫设备上所有不影响当前生产、且能安全获取的运行数据、日志文档进行了封存备份,这些一手数据,对各个攻关团队来说,是无价之宝。”
第三,装备与工艺协同。 林薇接过话头,她面前摆着的是星流未来屏幕工厂和芯片前道工艺的资料。
“光刻机只是工具,最终目的是在硅片上刻出合格的电路。‘追光计划’必须与我们的芯片制造工艺研发深度协同。我们会立即成立一个联合工艺小组,驻扎在这里。光刻机的任何进展,都要第一时间在我们的工艺在线进行验证和迭代;反过来,我们在硅片材料、光刻胶、涂布显影等配套工艺上的任何突破,也要反馈给光刻机团队,优化设备参数。”
她目光坚定地看向陈醒和张京京:
“这能确保我们造出的‘中国光刻机’,从一开始就是为‘中国芯片’量身定制的,是最适合我们工艺体系的利器,而不是一个简单的仿制品。”
第四,人才与时间表。 计划制定了极其严苛,甚至被外界看来是“不可能完成”的时间节点:6个月内,完成所有子系统技术路径论证和初步设计;18个月内,拿出工程样机并进行单项技术验证;36个月内,实现首台国产浸没式光刻机的整机集成与流片测试。
“我知道这个时间表非常激进。”
陈醒看着与会众人,
“但我们没有慢慢来的资本。天权3号等不了,国家的期望等不了,我们自己的生存更是等不了!‘星火燎原’股权激励已经落地,现在,是时候让所有人看到,我们配得上这份信任,担得起这份重托!”
“追光计划”全面激活,这座大楼迅速变成了一个不同学术背景