对称照射晶圆。

    根据干涉极值条件，光程差Δx = kλ时为亮纹。

    在空间几何关系中，干涉条纹的周期（间距）d满足：

    d =λ/(2sinθ)

    故，最小线宽（半周期）为：

    δ_n = d/2 =λ/(4sinθ)

    【突破性验证：】

    当θ趋近 90°时，sinθ趋近 1。

    此时理论极限可达λ/4。

    对比传统瑞利极限 0.61λ/NA（空气中NA反射镜对准->干涉曝光。

    【注：虽然该干涉方案主要适用于周期性图案的制备，但可作为先进制程中特定层的低成本替代方案，在生产约束内实现良率与成本的最优解。】

    李东放下笔，看了一眼时间。

    还剩十五分钟……