第146章 晶圆厂和光刻机厂建立
把两人拖了回来。

    张老瘫坐在泥水里,大口喘着气,雨水冲刷着他苍白的脸。

    助手惊魂未定,带着哭腔:“张老!您可不能有事啊!”张老缓过劲,拍了拍助手满是泥浆的胳膊,第一句话却是:“……我没事,快,去看刚才塌的那块,下面的防水布破了没有!”

    临时搭建的板房在暴雨中哗哗作响,里面却灯火通明。

    那台价值千万的离子注入机终于运到了,但开箱检测时,李爱娟教授和学生们的脸色就沉了下来——运输途中的颠簸导致内部几个精密传感器的参数发生了漂移。

    “必须马上校准,否则后续所有调试都是白费功夫。”李教授的语气不容置疑。

    关键传感器位于机器顶部的狭窄空间,距离地面两米多高。

    学生们架好梯子,争着要上,却被她拦住了。

    “你们手生,我来,你们给我递工具,读数据。”68岁的她,动作却异常利索,爬上平台,几乎将半个身子探进了机器内部,借助放大镜和微型工具,小心翼翼地调整着那些比头发丝还细的部件。

    这一干,就是三十六个小时。

    学生们分成两班倒,实在撑不住了就在旁边的行军床上眯一会儿,但李教授始终守在控制台前,盯着屏幕上细微的数据变化,不时发出调整指令。

    她手边是一个巨大的保温杯,里面是浓得发黑的咖啡,期间她只短暂地去了一次洗手间,吃了几口学生送来的盒饭,然后又立刻回到岗位上。

    直到第二天傍晚,机器终于发出一声平稳的低鸣,所有参数指示灯恢复了稳定的绿色,她在学生的搀扶下从梯子上下来,脚步有些虚浮,却长舒了一口气:“好了,下一个。”

    无尘车间是光刻机的核心区域,对恒温恒湿的要求近乎苛刻,但偏偏屋漏偏逢连夜雨,厂区的中央空调系统因为暴雨影响,调试进度滞后了。

    赵东升工程师坐在轮椅上,眉头紧锁。

    他看着温度计上轻微但足以毁掉精密光学元件的波动,果断下达命令:“不能等!立刻搭建临时保温棚!就用加厚防静电pVc布,把光刻机工作区整个罩起来!”