最后一根主梁落位之后,魏工站在吊车下面,仰头看着螺栓一颗一颗打进去,然后转身跟许锋说:
“许大队长,厂区主体结构今天算正式封顶了,接下来外墙板安装、内部管线、设备基础,三路同步推进。”
许锋看了一眼钢结构骨架的整体轮廓:“洁净车间那边怎样了。”
“墙板和天花板昨天装完了,新风系统今天下午开始调试。古工和苏工已经到了,在三楼。”
许锋点了点头,转身往研究中心走。
这是他最关心的部分,以后的发展就是从这里开始。
洁净车间的门开着,古工站在车间正中央,正用手背贴着墙板表面,感受防静电涂层的均匀度。
苏工蹲在东南角的光学镜组装配工位旁边,拿一把水平尺在量工作台面的平整度。
旁边摊着一本手写检查清单,已经打了十几个对勾。
听到脚步声,古工转过头。
他没有寒暄,直接开口:
“许队长,洁净车间的基础条件达到了要求。环氧地面平整度在正负零点五毫米以内,墙板防静电涂层表面电阻率达标,新风系统过滤等级H14,正压控制在五帕以上。百级洁净度没有问题。”
他顿了一下,把手从墙板上收回来:“条件是有了,现在缺的是设备。”
许锋站在车间中央,扫了一眼四周。
地面平滑如镜,墙板灰白色,空荡荡的工位等待着光学镜组、精密运动平台和曝光系统的进驻。
“光刻机的完整图纸,你们全部看过了吗?”
苏工站起来,把水平尺收进工具箱。
他没有直接回答,而是走到许锋面前,从随身的文件夹里抽出一张折叠的图纸展开。
那是一张光刻机整机布局图,每一个子系统都用不同颜色的线条标注,密密麻麻的尺寸参数填满了图纸的空白处。
“看完了,这份图纸的光学系统设计思路,和我们目前接触过的所有光刻机方案都不一样。它没有用传统的光学缩小投影方式,而是采用了一种基于自适应光学校正的直接成像方案。光学镜组的曲面方程、镜片之间的间距公差、激光光源的相干性补偿算法——这三个核心模块的设计水平,超出了目前公开文献里任何一个方案至少一代以上。”
他把图纸翻到第二页,指着一处光学系统布局图:
“这个非球面镜组的曲面方程,我看第一遍的时候以为数据标错了。算了三遍才确认,没错。就是这个数。”
古工在旁边接了一句:
“这个光学系统设计,不是这一代人的思路。”
车间里安静了几秒。
许锋开口:
“你们还需要什么条件才能开始装配?直接说。”
古工和苏工对视了一眼。
古工先开口:
“光学镜组的毛坯料。高纯度石英玻璃,直径不小于两百毫米,光学均匀性要求在十的负六次方级别。这是镜组加工的基础原材料,没有这个,后续所有工序都无从谈起。”
“这个已经在采购了。样品下周到,赵明远会做材料性能验证。继续。”
苏工接着古工的话往下说:
“精密运动平台的核心驱动组件——磁悬浮直线电机和压电陶瓷致动器。这两个组件决定了运动平台的定位精度,图纸上标注的重复定位精度要求在纳米级别。目前国内常规供应渠道的产品达不到这个精度,需要重新选型或者自己改。”
古工在旁边补充:
“压电陶瓷致动器军科院有储备,精度够用,磁悬浮直线电机需要定制,我已经把参数包发给供应商,初步反馈是能做,但交货周期至少四周。”
许锋在心里默算了一下时间线。
光学镜组毛坯料下周到位,加工周期大约需要两到三周,这是洁净车间里最耗时间的工序。
精密运动平台的定制电机四周到货,和其他组件的装配周期基本重合。
曝光系统的光源模组陈振华已经在军科院那边协调了,预计两周内到位。
综合算下来,光刻机基础版样品的装配调试可以在四个月内完成,比系统最初预估的四到五个月缩短了近一个月的周期。
“电机采购的审批流程如果卡住,直接找龙王。供应那边需要的采购资金走龙牙专项账户,不需要经过常规审批。”
许锋说完,转向古工:
“装配开始之后,你们的工序怎么排?”
古工走到东南角的装配工位前面,用手在空气中比划:
“第一阶段,光学镜组的加工和镀膜。这是整个光刻机装配中最关键的一步,镜片的曲面精度直接决定了曝光系统的成像质量。光学镜组一共七片,其中非球面镜三片,球