李向阳並不知道这些。
他顺势问道。
“那咱们普通的光刻机如果改进一下。”
“能不能用於某些特定材料的表面微结构加工？”
“比如在金属表面刻出微米级的润滑储油坑。”
“或者改变光学表面特性？”
这个问题更接近光刻机的本行。
董工来了兴趣。
“理论上可以。”
“但需要针对材料调整光刻胶和刻蚀工艺。”
“不过这要求光刻机本身的对准精度和曝光均匀性很好。”
“我们现在用的接触式光刻机手工对准精度波动大。”
“而且容易损伤掩模板和硅片。”
“用来做这个，效率低。”
“良品率恐怕不高。”
苏晴开口问道。
“那为什么不尝试投影式光刻。”
“或者改进对准方向呢？”
“我了解一些国外的资料。”
“他们开始在光刻机里引入光电传感器和计算机。”
“实现自动对准和曝光参数补偿。”
“精度和稳定性提升了很多。”
胡工和董工对视一眼。
露出一丝苦笑。
胡工回应苏晴。
“你说的没错。”
“但那是国际先进方向。”
“我们何尝不想？”
“但很难呀！”
“高精度的光电传感器、快速响应的伺服电机、稳定的计算机控制系统。”
“这些我们都很缺。”
“別说整机，很多部件都得依赖进口。”
“受到严格的管制。”
“我们现在的改进主要还是在光学镜头本身、照明均匀性这些传统领域下功夫。”
董工点了点头。
“是的。”
“机电光算一体化是大趋势。”
“也是大难题。”
“我们光机所也在尝试和一些搞自动控制的单位合作。”
“但进展缓慢。”
“主要是基础工业水平跟不上。”
“很多零件做不出来。”
“或者做出来的性能不达標。”
李向阳和苏晴听著。
不时插话。
提出一些基於理论控制的系统集成的思路性建议。
比如用简单的图像传感器结合微处理器实现粗对准。
再用雷射干涉仪进行精对准的构想。
或者多用点温度传感器配合补充算法来减轻透镜热变形的影响。
两位光学专家最开始只是出於礼貌性地听著。
但越听神情越专注。
董工说。
“李工，你这些想法很有启发性啊。”
“特別是这个用低成本图像传感器先做模式识別对准的思路。
“我们还真没想过。”
“总觉得自动对准就得用雷射干涉仪那种昂贵设备。
“还有热变补偿模型。”
“如果我们能够建立更精准的镜头组热力学模型。”
“结合实时温度反馈。”
“哪怕补偿精度有限，也是能用的东西。”
“能改善长期曝光下的图形漂移问题。”
“这个方向很值得研究啊。”
交流的气氛渐渐转变。
从最初的泛泛而谈。
转入深入的技术討论。
双方都避开了各自项目的具体参数和核心机密。
但在技术路径上、思路碰撞上，却收穫颇丰。
会议结束后。
胡工和董工明显意犹未尽。
胡工拉著李向阳的手说。
“李工，没想到你们搞车辆的。”
“对精密光学和自动控制也有这么深的研究和独特的见解。”
“真是受益匪浅。”
“以后有机会一定还要再交流交流。”
董工也对苏晴说著。
“苏工，你们在电子部的自动控制和微电子方面是权威。”
“以后我们光机所要是遇到相关难题。”
“说不定还真要求助你们。”
“互相学习，共同进步。”
苏晴微笑著回应。
閆淞早就安排好了便饭。
饭桌上气氛更加轻鬆。
没有再深入什么技术话题。
而是聊起了重庆的风土人情和各地的科研见闻。
送走专家后。