“但它们发出的光,波长还是太长,而且光谱太杂!就像用一把粗糙的斧头,去雕刻一粒米!根本不可能做到图纸上要求的微米级精度!”
“我们需要一种……一种更‘纯粹’,更‘锐利’的光!”
整个车间,陷入了一片死寂。
所有人都明白,他们又一次,撞上了一堵技术的高墙。
一堵,名为“光源”的墙。
“盘古之心”的设计图,要求在一个指甲盖大小的硅片上,集成上万个晶体管。
这意味着,每一个晶体管,每一条连接线,都必须做到微米,甚至亚微米的级别。
而实现这一切的核心工艺,就是“光刻”。
简单来说,就是先在硅片上涂一层感光的“光刻胶”,然后用一个刻着电路图案的“掩模板”挡住,再用紫外线去照射。
被照到的光刻胶会发生化学反应,变得可以被轻易洗掉,露出下方的硅片。
这样,电路的图案,就被“复印”到了硅片上。
这个过程,听起来简单,但对“光”的要求,却苛刻到了极点。
光的波长,决定了它能刻出多细的线条。
就像笔尖的粗细,决定了你能写出多小的字。
以他们目前的技术,能制造出的最先进的紫外光源,波长都在300纳米以上。
而想要刻出微米级的线路,光的波长,必须被压缩到200纳米以下!
这100纳米的差距,在宏观世界里微不足道。
但在微观的半导体世界里,这就是一道不可逾越的天堑。
“难道……我们又要去请示老师吗?”
有人小声地嘀咕了一句。
这句话,像一根针,刺痛了在场所有人的自尊心。
从“逻辑门”到“晶体管”,再到“高纯硅”,他们已经连续“顿悟”了三次,所有人都憋着一股劲,想靠自己的力量,把这最后一块拼图给补上。
可现实,却如此残酷。
“不!”
黄建功猛地睁开眼睛,眼神里透着一股不服输的执拗。
“不能再去!”
“老师已经把‘道’都教给了我们!这最后的‘术’,如果我们还要去问,那我们这群人,就真的成了只会嗷嗷待哺的废物了!”
“再想!一定还有办法!”
黄建功的大脑,如同“盘古之心”的设计图一样,飞速运转起来。
光源……光源……
波长更短的光……
比紫外线波长更短的是什么?
X射线?伽马射线?
不行!那些能量太高,会直接摧毁硅片的晶格结构!
那还能是什么?
黄建功在车间里来回踱步,嘴里不停地念叨着。
忽然,他停下了脚步。
一个被他忽略了很久的,看似与“光源”毫不相干的“神谕”,如同闪电般,划过他的脑海。
“夸父逐日!”
那个旨在创造“人造太阳”的,疯狂而伟大的工程!
“夸父之心”——托卡马克装置!
它的原理是什么?
用超强的磁场,将等离子体约束在一个环形的真空室内,然后将其加热到上亿度的高温,引发核聚变反应,释放出巨大的能量!
上亿度高温的……等离子体!
那会发出什么样的“光”?!
“我……我明白了……”
黄建告的呼吸,瞬间变得急促起来。
“我们都想错了!我们一直在想办法‘制造’一种新光源!”
“可老师,早就为我们准备好了一个‘终极光源’!”
他冲到通讯设备前,用颤抖的手,接通了另一个项目组的负责人——那位同样在为“夸父逐日”工程而焦头烂额的物理学泰斗。
“老周!我问你!你们的托卡马克,如果只加热,不聚变,能把等离子体稳定在什么温度?!”
电话那头,传来了老周困惑而疲惫的声音:“老黄?你问这个干什么?我们现在正为超导材料发愁呢……如果只是稳定加热,不追求聚变的话,用普通电磁铁,大概能稳定在几千万度吧……”
“几千万度!”黄建功的眼睛,亮得像两颗太阳,“那在这个温度下,等离子体会发出什么波段的光谱?!”
“什么波段?那可就复杂了……主要是韧致辐射和同步辐射,光谱范围极宽,从可见光到……等等!”电话那头的老周,声音也陡然变了,“会产生大量的,波长在10到30纳米之间的,极紫外光(EUV)!”
极紫外光!
EUV!