第一千一百六十三章 镀膜卡关!自研破拢断
    反射镜基材的超精密加工和复杂多层镀膜的难题,尤如两座必须翻越的冰山。

    苏定平深深明白,即便龙心实验室掌握了内核工艺,也没有必要也没有能力为这一个环节单独创建一条大规模的生产线。

    这太奢侈了!

    拿着那份凝结了无数心血的离子束抛光新图纸和ald工艺手册,以及几块刚刚在龙心试制线用新工艺做出来的、性能优异的试验片,苏定平带着技术转让意向书,亲自找上了龙夏部落负责光学组件顶尖研发的927研究所。

    所长郑玉,一个头发花白、眼神却锐利如鹰的老研究员,亲自在研究所门口迎接。

    他知道苏定平现在在做的事情,更清楚龙心实验室目前顶着多大的压力。

    会议室内,苏定平没有客套,直接将图纸和样品推了过去。

    “郑所长,龙心实验室在euv光刻机反射镜的超精密抛光和多层膜沉积上取得了一些突破,这是工艺图纸和试验样品的数据报告。”

    郑玉一开始神情凝重。

    他知道euv反射镜的要求有多变态。接过图纸,戴上老花镜,他只是看了第一页内核工艺原理的总述部分,拿着图纸的手就猛地一抖!眼神陡然锐利得象探照灯,死死盯着图纸上“离子束原子级刻蚀”、“动态补偿模型”的字眼和结构图。

    紧接着,目光又落在旁边那份薄薄的ald工艺优化纲要上。

    “温度场梯度驱动原子吸附”、“分子级脉冲阀门时序控制”他的呼吸陡然变得粗重起来!

    “这这图纸”

    郑玉猛地抬起头,眼神直勾勾盯着苏定平,声音带着激动和难以置信的颤斗。

    “苏总工!你们你们这是怎么搞出来的?这思路这工艺!完全是颠复性的!跟我们研究所几十年在光机研磨抛光的老路根本不是一个概念!还有这ald工艺的改进点,简直神了!”

    他放下图纸,几乎是抢也似的抓过旁边那几块小小的试验镜片,对着光仔细查看那光滑如无物般的表面。

    “你们抛光的面型精度”。”

    苏定平沉声道。

    郑玉倒吸一口冷气!

    他又扑到一旁的检测仪器前,不顾身份地亲自操作,将一块试验片放入专用的光谱分析仪中。屏幕上立刻显示出清淅无比的多层膜干涉条纹!薄膜的均匀性、层间的界限清淅度,都让郑玉的眼睛越瞪越大。

    “老郑?”

    旁边几位副所长看他半天不说话,着急地催促。

    郑玉猛地站起身,转过身,脸上因为激动涨得通红,他用力拍着自己的大腿。

    “好!好!太好了!苏总工!了不起!太了不起了!”

    他几乎是吼出来的。

    “这技术!

    这精度!别说合格!

    这已经比我们掌握的最机密资料里显示的、那个as司旗舰机上用的顶级反射镜性能还要强!还要稳定!强一截!”

    他一把抓住苏定平的手,握得死紧。

    “苏总工!

    这份图纸和技术,我们927所,全力配合!我们有全国最好的光学冷加工基地,有最成熟的光学薄膜镀膜产线技术骨干!我敢立军令状!

    就凭这张图,这份工艺,我们不但能给你稳定量产符合要求的euv光刻机用反射镜,而且性能,绝对能压as头!彻底打破他们在这块铁桶般的拢断墙!”

    苏定平感受着手臂上载来的巨大力量,看着眼前这位激动得语无伦次的老专家眼中爆发出的炽热光芒,心中悬着的一块巨石终于落下一半。

    “那就拜托郑所长了!时间紧!需要哪方面的协同实验,龙心团队全力配合!”

    “没问题!”

    郑玉拍着胸脯。

    “你这份图纸和工艺一到,就是我们全所的冲锋号!”

    几个月后,第一批完全由龙夏部落自主设计、自主工艺、927研究所独家生产的euv极紫外光刻机专用多层膜反射镜系统,在严格的外部第三方检测实验室里完成了最终的性能测试。

    当报告送达龙心实验室高层和苏定平的案头时,所有人看到那醒目的结论——“内核面型精度r误差。

    这一刻,没人欢呼雀跃,反而是一阵死一般的寂静。

    袁涛看着报告上那令人眩晕的数据对比,嘴唇微微翕动了几下,最终只发出几个嘶哑的音节。

    “成了真他娘的干成了!”

    as曾经被视为无法逾越的、用无数专利和百年技术积累堆砌而成的高耸城墙反射镜壁垒上,硬生生被砸出了一个巨大的缺口!

    苏定平重重地靠倒在椅背上,仰头看着天花板刺眼的日光灯。

    连日来的疲惫如同潮水般涌上,伴随着巨大的、难以言喻的成就感。光源、反射镜euv光刻机这座堡垒最坚硬的几个内核,正在一个

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