这就是龙夏在光刻技术领域实现惊世突破的另一根支柱——“蚀影”光刻胶!旁边是密密麻麻的实验数据图谱和一排排闪铄着微光的控制单元。实验室中央的巨大浸没式分步重复投影光刻样机正在安静地演示着。
激光通过高级数值孔径透镜投射到涂胶晶圆表面,在精密控制的水膜浸没环境下。旁边的实时显示器上,赫然生成了一条条精细的结构线条,分辨率测定结果在7n标尺附近稳稳跳动!
这代表龙夏的“蚀影”式工艺组合,硬生生将arf光源的潜力挖尽,达到了足以媲美昂贵且被严禁出口的euv光学系统的精度!从理论到小规模流片验证,这条路被走通了!
这任何一项成果单独放出去,都足以震动整个全球半导体产业,引发科技版图的大洗牌!
它们本该是实验室里疯狂庆祝的资本。
然而
所有人目光的焦点,都汇聚在实验室中心那一片空旷的局域。
那里停着一台庞大而精密的机械设备框架,但关键的部位——内核光源模块和最重要的物镜镜头组,却被巨大的真空防尘罩小心翼翼地笼罩着。
通过罩子的窗口,能看到框架中本该放置最内核“工具心脏”的位置,只剩下一些接口和精密的机械臂基础,还有几根用于测试信号的光秃秃光纤探头延伸出来。
它象一具失去了引擎和翅膀的空壳机甲巨人。
“基础有了!尖端材料昆仑胎玉,我们有了!世界级的光刻胶和工艺突破蚀影,我们也做出来了!”
王教授指着左右两项成果,声调并没有自豪,反而充满了苦涩和不甘,他使劲拍了一下身旁冰冷的设备基座。
“可光刻的心脏呢?!
这颗能将我们在图纸上的设计、将硅基材料上的蚀影胶刻蚀成实际电路的雕刻刀在哪里?!没有光刻机,这些顶级硅片,这些神乎其技的光刻胶,就是最顶级的原材料和最好的墨水!没有笔!没有笔啊!!”
李老布满老年斑的手紧紧握着拐杖头,声音低沉得象是从牙缝里挤出来。
“西方那群混蛋,是铁了心要把我们摁死在28n条线下!euv?别说整机、内核部件!连颗关键螺丝,一支配套的镜头清洗液都要加进限制名单!至于duv?哼,老黄历!
他们最新的禁运清单连十年前的高端型号都函盖了!连租用!连维护服务都一刀切!
摆明了就是不让你有任何可能去复制,去摸索,去积累起那该死的光源控制、超精密镜头制造、工作台双工件台高速协同控制等等我们短时间难以攻克的内核技术和工程经验!”
系统总工赵老更是重重一拳砸在旁边的控制台上,发出“砰”的一声闷响。
“巧妇难为无米之炊!没有光刻机,你让我们用什么去刻蚀出7n5n至3n芯片?靠想象吗?!
烛龙电站的内核控制芯片指标,尤其是对聚变堆等离子体湍流的超高精度、超高速度实时预测与场协同控制系统,没有顶级的、大规模集成的超高性能芯片,根本就是空中楼阁!
靠秦明珠提供的250n别的救命芯片拼凑起来的内核?那只能保证基本功能,维持电站初期的最低功率运行!想实现百分之百输出功率?想进行聚变点火后更精深的数据分析和控制优化?门都没有!
这会让整个烛龙工程的潜力大打折扣!”
他喘着粗气,声音带着一种技术人员特有的、面对真理和限制时无能为力的焦灼。
“更不要说,电磁炮要上更远的射程、更高的精度,需要更强的雷达和火控处理内核;腾龙一号未来的智能管理系统;甚至我们下一代军用通信加密体系…哪一样不需要制程更高、计算更强的芯片?!
没有我们自己造的光刻机,就算我们的设计和材料再好,也只能眼巴巴看着这些计划被拖慢、被阉割!”
整个实验室死一般寂静。
窗外传来的庆祝胜利隐约欢呼声,此刻听起来无比的讽刺,更是加重了这份沉重。
苏定平的目光从硅片、光刻胶瓶子,一路移到那巨大的、空有框架却缺失了灵魂的光刻机内核位,如同冰锥般锐利,也如同深渊般凝重。
他缓缓站直了身体,骨节因为用力而微微发白。
大海上的那场胜利带来的振奋和证明,似乎被眼前这座冷冰冰的现实大山碾得粉碎。
光刻机,这把被西方死死攥在手里的、扼住所有尖端科技咽喉的“刻刀”,这个由数十万精密零件组成、融合了现代光学、材料、机械、控制、化学工程巅峰造诣的“终极制造工艺品”,
成了龙夏实现芯片自主、彻底摆脱西方科技封